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物理气相沉积TiN薄膜疲劳磨损形貌的AFM观测
被引量:
5
1
作者
高玉周
张会臣
王亮
《润滑与密封》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期68-70,共3页
采用物理气相沉积工艺在高速钢表面沉积TiN薄膜,研究了TiN薄膜的疲劳磨损过程。采用原子力显微镜(AFM)观测分析了表面疲劳点蚀的形貌特征。试验结果表明:较厚TiN薄膜具有较低的疲劳磨损寿命,而较薄的TiN膜层具有较高的疲劳磨损寿命。在...
采用物理气相沉积工艺在高速钢表面沉积TiN薄膜,研究了TiN薄膜的疲劳磨损过程。采用原子力显微镜(AFM)观测分析了表面疲劳点蚀的形貌特征。试验结果表明:较厚TiN薄膜具有较低的疲劳磨损寿命,而较薄的TiN膜层具有较高的疲劳磨损寿命。在试验的初始阶段,磨损轨迹上都出现大量显微凹坑,AFM观测分析可知显微凹坑起源于薄膜表面,呈菱形状。随试验的进行,较薄的TiN薄膜出现典型的疲劳麻坑,而较厚的TiN薄膜在薄膜与基体的界面处形成疲劳裂纹,并出现严重的剥层和断裂。
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关键词
滚动疲劳试验
TIN薄膜
疲劳
磨损
下载PDF
职称材料
题名
物理气相沉积TiN薄膜疲劳磨损形貌的AFM观测
被引量:
5
1
作者
高玉周
张会臣
王亮
机构
大连海事大学机电与材料工程学院
出处
《润滑与密封》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期68-70,共3页
文摘
采用物理气相沉积工艺在高速钢表面沉积TiN薄膜,研究了TiN薄膜的疲劳磨损过程。采用原子力显微镜(AFM)观测分析了表面疲劳点蚀的形貌特征。试验结果表明:较厚TiN薄膜具有较低的疲劳磨损寿命,而较薄的TiN膜层具有较高的疲劳磨损寿命。在试验的初始阶段,磨损轨迹上都出现大量显微凹坑,AFM观测分析可知显微凹坑起源于薄膜表面,呈菱形状。随试验的进行,较薄的TiN薄膜出现典型的疲劳麻坑,而较厚的TiN薄膜在薄膜与基体的界面处形成疲劳裂纹,并出现严重的剥层和断裂。
关键词
滚动疲劳试验
TIN薄膜
疲劳
磨损
Keywords
rolling fatigue testing
TiN coating
fatigue wear
分类号
TH117.1 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
物理气相沉积TiN薄膜疲劳磨损形貌的AFM观测
高玉周
张会臣
王亮
《润滑与密封》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
5
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