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磁控溅射铝镜生产中的关键技术问题及解决办法 被引量:1
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作者 刘增喜 张金镌 《建材世界》 2014年第3期91-94,121,共5页
磁控溅射铝镜生产线经过合理设计配置了真空溅射镀膜段,自动化程度高,大幅度降低了磁控溅射铝镜生产线的造价,实现了磁控溅射铝镜的低成本、高效率生产,是制镜行业生产设备的转型升级,也进一步实现了大型镀膜设备的国产化。该文针对在... 磁控溅射铝镜生产线经过合理设计配置了真空溅射镀膜段,自动化程度高,大幅度降低了磁控溅射铝镜生产线的造价,实现了磁控溅射铝镜的低成本、高效率生产,是制镜行业生产设备的转型升级,也进一步实现了大型镀膜设备的国产化。该文针对在真空镀铝过程中经常遇到的问题做了简要阐述,同时针对这些问题给出了相应的修改建议。 展开更多
关键词 镀膜室 跑偏 漆刀 漆膜
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