SF_6气体泄漏成像仪校验技术研究

为了检验SF6气体泄漏成像仪的灵敏度,借鉴氦质谱定量检漏仪的检验方法,研制了一套不同漏率的正压漏孔以及可以对漏孔集中供气的供气系统,同时试制了漏孔标定系统用来对标准漏孔的漏率进行标定,并对影响漏孔漏率的因素(温度、压力)进行了试验研究,最后对SF6气体泄漏成像仪(彼岸)进行了初步检测验证。