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便携式气体微流量计的设计
被引量:
1
1
作者
李得天
冯焱
+1 位作者
赵澜
张涤新
《真空》
CAS
北大核心
2010年第2期60-63,共4页
为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统和烘烤系统等四部分组成,采用固定流导法及定容法两种模式提供和测量流量。...
为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统和烘烤系统等四部分组成,采用固定流导法及定容法两种模式提供和测量流量。在流量计的设计中,解决了小孔流导的设计和计算、定容室和抽气系统的小型化设计、应用选择性抽气技术延伸流量测量下限等关键技术,同时还采用了分体式结构设计,使流量计具有便于拆卸及携带,操作简单等优点。流量计预计达到的技术指标是,测量范围(:10-4~10-11)Pa.m3/s,标准不确定度小于10%。
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关键词
便携式
气体微流量计
固定流导法
定容法
漏率值校准
下载PDF
职称材料
题名
便携式气体微流量计的设计
被引量:
1
1
作者
李得天
冯焱
赵澜
张涤新
机构
兰州物理研究所
出处
《真空》
CAS
北大核心
2010年第2期60-63,共4页
文摘
为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统和烘烤系统等四部分组成,采用固定流导法及定容法两种模式提供和测量流量。在流量计的设计中,解决了小孔流导的设计和计算、定容室和抽气系统的小型化设计、应用选择性抽气技术延伸流量测量下限等关键技术,同时还采用了分体式结构设计,使流量计具有便于拆卸及携带,操作简单等优点。流量计预计达到的技术指标是,测量范围(:10-4~10-11)Pa.m3/s,标准不确定度小于10%。
关键词
便携式
气体微流量计
固定流导法
定容法
漏率值校准
Keywords
portable
gas micro-flowmeter
constant conductance
constant volume
leakage calibration
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
便携式气体微流量计的设计
李得天
冯焱
赵澜
张涤新
《真空》
CAS
北大核心
2010
1
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职称材料
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参考文献
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