比对法漏率校准装置

比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置 ,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准。绝对法的校准范围为 10 - 4～ 10 - 9Pa· m3/s;相对合成标淮不确定度为小于 10 %。相对比对法的校准范围为 10 - 6～10 - 1 0 Pa· m3/s,相对合成标准不确定度为小于 2 5 %。

真空漏率校准装置的使用

真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔。简述了真空漏率校准装置的工作原理，讨论了使用中应注意的六个方面。