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比对法漏率校准装置
被引量:
6
1
作者
张涤新
冯焱
+2 位作者
张建军
郭美如
沈辉
《真空》
CAS
北大核心
2002年第4期14-17,共4页
比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置 ,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准。绝对法的校准范围为 10 - 4~ 10 - 9Pa· m3/s;相对合成标淮不确定度为小于 10 %。相对比对法的校准范围为 10 - 6~10 - 1 0 Pa· m3/s,...
比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置 ,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准。绝对法的校准范围为 10 - 4~ 10 - 9Pa· m3/s;相对合成标淮不确定度为小于 10 %。相对比对法的校准范围为 10 - 6~10 - 1 0 Pa· m3/s,相对合成标准不确定度为小于 2 5 %。
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关键词
比对法
漏率校准装置
真空计量
漏
率
校准
真空
漏
孔
下载PDF
职称材料
真空漏率校准装置的使用
被引量:
1
2
作者
刘兴胜
解永蓉
郑颖
《计量技术》
2017年第1期75-77,共3页
真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔。简述了真空漏率校准装置的工作原理,讨论了使用中应注意的六个方面。
关键词
真空
漏率校准装置
工作原理
真空计
真空
漏
孔
原文传递
题名
比对法漏率校准装置
被引量:
6
1
作者
张涤新
冯焱
张建军
郭美如
沈辉
机构
国防科工委真空计量一级站
出处
《真空》
CAS
北大核心
2002年第4期14-17,共4页
文摘
比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置 ,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准。绝对法的校准范围为 10 - 4~ 10 - 9Pa· m3/s;相对合成标淮不确定度为小于 10 %。相对比对法的校准范围为 10 - 6~10 - 1 0 Pa· m3/s,相对合成标准不确定度为小于 2 5 %。
关键词
比对法
漏率校准装置
真空计量
漏
率
校准
真空
漏
孔
Keywords
vacuum metrology
leak rate calibration
vacuum leak
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
真空漏率校准装置的使用
被引量:
1
2
作者
刘兴胜
解永蓉
郑颖
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《计量技术》
2017年第1期75-77,共3页
文摘
真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔。简述了真空漏率校准装置的工作原理,讨论了使用中应注意的六个方面。
关键词
真空
漏率校准装置
工作原理
真空计
真空
漏
孔
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
比对法漏率校准装置
张涤新
冯焱
张建军
郭美如
沈辉
《真空》
CAS
北大核心
2002
6
下载PDF
职称材料
2
真空漏率校准装置的使用
刘兴胜
解永蓉
郑颖
《计量技术》
2017
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