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激光三角扫描法检测微刻槽 被引量:2
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作者 王彦勋 孙宏凯 牛连杰 《计量技术》 2002年第6期11-13,共3页
本文介绍一种激光三角扫描法微刻槽检测系统。该系统以激光三角法为基础 ,采用激光光斑能量细分方法 ,有效地解决了激光三角法由于光斑直径过大而引起的横向分辨力不足的问题 ,并容易做到微型化 。
关键词 激光三角扫描法 检测 光束束径 光点细分 微刻槽 刻蚀 电子工业
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激光扫描三角法大型曲面测量中影响参数分析 被引量:14
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作者 杨耀权 施仁 +1 位作者 于希宁 高镗年 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第7期15-18,45,共5页
介绍了基于光学三角理论的激光扫描大型曲面测量原理.详细分析了影响其测量精度的几个主要因素,即被测物体表面的光学性能、物面倾斜、光学系统畸变及散斑等对测量精度的影响.针对大范围测量时,光斑图像占用多个像素及诸多因素造成... 介绍了基于光学三角理论的激光扫描大型曲面测量原理.详细分析了影响其测量精度的几个主要因素,即被测物体表面的光学性能、物面倾斜、光学系统畸变及散斑等对测量精度的影响.针对大范围测量时,光斑图像占用多个像素及诸多因素造成的光斑图像强度分布不均,以致于很难读取真正光斑几何中心的问题,文中提出了基于Hough变换的光斑中心提取方法. 展开更多
关键词 曲面测量 误差分析 激光扫描三角
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飞机表面划痕的非接触测量 被引量:11
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作者 庄葆华 张文伟 +3 位作者 刘迈 王彦勋 张宝骧 章建洪 《应用激光》 CSCD 北大核心 1997年第2期49-53,共5页
介绍飞机表面划痕非接触测量的激光三角扫描法。在分析被测表面散、反射特性的基础上给出了激光三角测头正确放置方式和提出改善测量精度的测头姿态调整法和表面喷涂法。实验证明了上述方法的可行性。测量系统具有非接触测量、工作距离... 介绍飞机表面划痕非接触测量的激光三角扫描法。在分析被测表面散、反射特性的基础上给出了激光三角测头正确放置方式和提出改善测量精度的测头姿态调整法和表面喷涂法。实验证明了上述方法的可行性。测量系统具有非接触测量、工作距离大、测量范围宽、精度高、结构简单、成本较低的特点。 展开更多
关键词 激光三角扫描法 非接触测量 划痕 飞机 制造工艺
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