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激光专用机在非晶硅太阳能电池制备中的应用 被引量：1
1
作者 熊绍珍 孙钟林 +1 位作者 孟志国 朱云路 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第3期163-167,171,共6页
本文详细讨论了大面积实用型非晶硅太阳能电池制备中激光刻蚀专用机的作用及对该机的技术要求.研究结果表明,采用10瓦YAG激光器并配以微机控制的x-y大型载物台,可用于20cm×20cm非晶硅太阳能电池的研究,已制出10cm×10cm转换效... 本文详细讨论了大面积实用型非晶硅太阳能电池制备中激光刻蚀专用机的作用及对该机的技术要求.研究结果表明,采用10瓦YAG激光器并配以微机控制的x-y大型载物台,可用于20cm×20cm非晶硅太阳能电池的研究,已制出10cm×10cm转换效率可达8.55%的电池. 展开更多
关键词 激光专用机 非晶硅 太阳能电池
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