薄膜电阻激光修刻机的单片机控制系统

薄膜电阻是电位器式角位移传感器的核心构件,直接影响传感器的输出性能,高精度角位移传感器的薄膜电阻需要进行精密的修刻,激光修刻机包括机械本体、单片机控制部分和控制软件组成。采用STC12C5410单片机为核心设计的薄膜电阻激光修刻机控制系统,由单片机、步进电机、激光器和若干辅件组成,来控制修刻工作台的自动修刻和薄膜电阻的自动进给,能实现0.05-0.5%可调节修刻精度,每个2-4分钟的修刻速度。