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基于激光光切法的MEMS器件高度在线检测方法(英文) 被引量:1
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作者 曾涛 石庚辰 +2 位作者 张兵 王禛 王倩倩 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第5期422-428,共7页
为了解决MEMS器件在加工过程中在线高度检测的困难,提出了一种基于激光光切法的MEMS器件高度在线检测方法.首先建立了用以验证激光光切法有效性的高度在线检测系统;然后提出了一种基于阈值分割、数学形态学、逐行扫描法和加权最小二乘... 为了解决MEMS器件在加工过程中在线高度检测的困难,提出了一种基于激光光切法的MEMS器件高度在线检测方法.首先建立了用以验证激光光切法有效性的高度在线检测系统;然后提出了一种基于阈值分割、数学形态学、逐行扫描法和加权最小二乘法的快速激光中心线提取算法.实验表明,建立的高度在线检测系统的最大平均误差及误差的均方差分别为-6.38μm和1.87μm,且检测一次高度的时间为1.03 s.因此,激光光切法可以用于MEMS器件高度的在线检测. 展开更多
关键词 MEMS 高度在线检测 激光光切法 图像检测
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光学三角测量法及其在人体测量中的应用 被引量:13
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作者 陈益松 夏明 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期95-101,共7页
光学三角测量法是以共线方程为基础,利用物体、光源、相机之间的三角关系直接进行几何解算的光学测量方法,是光学三维测量的基本方法。通过回顾国内人体测量研究的现状,指出原理研究对于相关研究的重要性。依据光学三维测量的相关分类,... 光学三角测量法是以共线方程为基础,利用物体、光源、相机之间的三角关系直接进行几何解算的光学测量方法,是光学三维测量的基本方法。通过回顾国内人体测量研究的现状,指出原理研究对于相关研究的重要性。依据光学三维测量的相关分类,以共线方程为基本出发点,分析了简单照相法的原理缺陷,对于被动三角测量法和主动三角测量法之激光片光法、格雷编码光栅法的测量原理予以清晰描述。同时对不同方法及在人体测量方面的应用特点做了总结,并讨论了红外人体测量的认识误区。 展开更多
关键词 人体三维测量 人体扫描 三角测量 双目视觉 激光光切法 格雷编码
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Taper Angle Correction in Cutting of Complex Micro-mechanical Contours with Ultra-Short Pulse Laser 被引量:4
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作者 J. Auerswald A. Ruckli +3 位作者 T. Gschwilm P. Weber D. Diego-Vallejo H. Schliiter 《Journal of Mechanics Engineering and Automation》 2016年第7期334-338,共5页
The objective of this work was to investigate the possibility of taper angle correction in cutting of complex micro-mechanical contours using a TruMicro ultra-short pulse laser in combination with the SCANLAB precSYS ... The objective of this work was to investigate the possibility of taper angle correction in cutting of complex micro-mechanical contours using a TruMicro ultra-short pulse laser in combination with the SCANLAB precSYS micro machining sub system. In a first step, the influence of the process parameters on the kerftaper angle of metallic alloys was systematically investigated without beam inclination. A set of base parameters was derived for the subsequent investigations. In a second step, the kerftaper angle was controlled by static beam inclination. In a third step, the same optics was used in its dynamic precession mode to fabricate micro-mechanical components of complex contours with perpendicular 0~ taper angles. It was found that taper angle adjustments of up to 7.5~ are possible with the used setup for cutting applications. Taper angle control is possible both in the static beam inclination mode and in the dynamic precession mode. The static mode could be interesting for contours with sharp inner radii and for achieving faster cutting times similar to results with fixed optics, but would require excellent synchronization of beam inclination and axis motion. The dynamic precession mode would allow an easier integration of the optics into a laser machine but will result in longer cutting times and limitations with respect to achievable inner radii. 展开更多
关键词 Ultra-short pulse laser cutting kerf taper angle zero taper 5-axis micro machining.
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