激光全息光刻技术在微纳光子结构制备中的应用进展

微纳光子结构研究随着光子学、半导体物理学及微加工技术的发展而逐渐蓬勃开展,并在其结构、理论、制备技术等方面取得了系列进展。受限于目前的微加工技术水平,要成功制备大尺度、高质量的光子材料仍然存在着一定挑战。激光全息光刻技术作为一种简便快捷的微结构制作技术已经发展成为一种经济快速制作大面积微纳超材料及光子晶体模板的重要手段。介绍了激光全息光刻技术的原理,详细阐述了该技术在制作三维面心立方、木堆积结构、金刚石结构光子晶体以及光学周期类准晶、手性超材料、周期性缺陷结构等微纳光子结构中的应用研究进展。激光全息光刻技术成功制作微纳光子结构为光子材料在更多领域的广泛应用提供了基础和方法。

光子晶体的研究现状与最新进展

光子晶体是具有光子带隙的一种新型光学材料 ,由于其奇特的调节光子运动状态的特性 ,在光导纤维通信和光子计算机等领域中有着广泛的用途或潜在用途。本文系统地综述了光子晶体的产生、结构、制造和可能的应用 ,并介绍了光子晶体的最新研究进展。

气相沉积技术在制备高折射率光子晶体中的应用

采用激光全息光刻技术或激光直写技术制作微结构具有便捷、灵活、高效等优势,目前已成为研究制备光子晶体的一种有效方法。用全息光刻技术所制备的微结构的特点是单晶面积大(即内部结构缺陷较少)和可根据需要制作研究多种周期或准周期的晶格结构。但是所制备的结构由于感光树脂与空气的折射率比值较低,不能得到完全带隙光子晶体,从而使其应用受到局限性。以此树脂结构为模板,通过各种方法对其进行二次加工,制作高介电常数材料的反结构,近期已成为研究热点。本文介绍了气相沉积技术在制备高折射率光子晶体方面的应用和研究进展。