太阳能级硅激光刻槽埋栅电池的研究

探讨了廉价太阳能级硅材料对电池性能可能的影响，据此对激光刻槽埋栅电池的工艺加以优化．在此基础上制作的大面积太阳电池的转换效率达到１６．５９％．

太阳能晶硅电池激光刻槽设备光机系统设计

以激光在太阳能领域的应用为例,介绍了激光刻槽设备光机系统的组成及工作原理。该系统使用532nm短脉冲激光器,采用双激光器四分光路、两级激光扩束设计,重点解决了两级扩束自动调焦的问题。在多晶硅片上进行了刻槽试验,槽宽20μm^40μm,刻线深度可调节,线宽及线深均符合要求。

EWT背结电池中的激光刻槽及腐蚀工艺的研究

采用激光刻槽的方法制备电池背面结构,用化学腐蚀的方法对槽区进行清槽和刻蚀损伤层处理。当激光刻槽工艺参数为I=7.4A,v=50mm/s,激光步长为20μm时,通过改变腐蚀溶液浓度n、腐蚀温度T、和腐蚀时间t等工艺参数,可以有效控制槽区的几何形状。结果发现,当n=12%(w/v)、T=80℃、t=20～30min时,所得槽区表面平整光滑而侧壁垂直陡峭,同时损伤层也得到较为理想的刻蚀效果,能满足后续工艺的制备要求。激光刻槽工艺简单效率高,在保证电池效率的基础上降低了成本,适合EWT背结电池产业化。

电阻激光刻槽机的实时控制系统

以“JJK激光自动刻槽机”的控制和监测系统为实例，扼要描述光点物面位移法刻槽电阻如何实现动态阻值精度测量和控制。

热烈庆祝DL—UVSi200型紫外激光刻槽机顺利通过无锡尚德验收

DL—UVSi200型紫外激光刻槽机是苏州德龙激光有限公司和无锡尚德联合开发的新一代激光刻槽设备，可用于各类晶体型硅太阳能电池的刻槽及砷化镓等其他半导体材料的精密划线、划片、切割或其他微处理。该设备采用紫外激光功率单模输出高达5W，加工速度快、精度高、功能全、操作简便，长时间连续工作条件下的各项性能指标均稳定可靠。目前该设备已经通过无锡尚德的验收，正式交付使用。

RJK-Ⅰ型激光刻槽机刻槽槽纹质量分析

本文从分析使用RJK-Ⅰ型激光刻槽机对金属膜电阻器激光刻螺旋槽的槽纹质量,探讨槽纹误差产生的原因及影响因素,最后提出减小误差的途径。

圆柱状电阻激光刻槽扩阻研究

圆柱状精密金属膜电阻采用激光刻螺线槽是电阻器制造技术的趋势。着重描述了激光扩阻试验依据和结果分析。

45^#钢圆筒外表面水下激光刻槽工艺研究

报道了对４５＃钢圆筒刻片开展的ＣＯ２激光刻槽工艺研究情况。采取了把工件浸入水中冷却的措施，克服了刻槽余热引起的烧伤现象，研究了圆筒外表面激光斜刻槽的工艺条件。

电阻器激光刻螺线槽槽纹质量分析

本文从评价圆柱状金属膜电阻器激光刻螺线槽槽纹质量， 分析槽纹误差产生的原因，

激光制造技术在航空领域中的应用

自上世纪70年代大功率激光器件诞生以来,已形成了激光焊接、激光切割、激光打孔、激光表面处理、激光合金化、激光熔覆、激光快速原型制造、金属零件激光直接成形、激光刻槽、激光标记、激光掺杂等十几种应用工艺。

取向硅钢片激光表面刻槽的实验研究

首先分析取向硅钢片表面引入线状沟槽后对磁畴细化的效果。通过计算磁畴壁能量和沟槽附近出现磁极的静磁能之和,使其最小来确定稳定的磁畴宽度。计算结果显示磁畴宽度基本取决于沟槽的深度、间距。利用纳秒和飞秒激光加工设备在取向硅钢片上引入沟槽后检测实际的磁性能,实验发现,紫外飞秒激光在取向硅钢片表面刻槽,在不明显降低硅钢磁感应强度的前体下,可以有效降低铁损值。

多晶高效PERCT电池工艺研究

文章主要对高效PERRCT电池关键工序进行研究,针对每个工序的重要工艺点进行分析,找出合理的效率提升方向,经过反复测试验证,确定了最优的工艺参数,效率综合提升了0.2%。

局部背接触结构单晶Si太阳电池的研究

报道了采用局部背接触结构的激光刻槽埋栅太阳电池的研究结果。模拟分析了局部背接触结构的作用,设计了合理的电池结构。通过工艺优化,得到了转换效率达到17.28%(大气质量AM=1.5G,VOC=650.4mV,JSC=33.15mA/cm2,FF=0.8014,电池面积为4cm2)的太阳电池。