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电阻激光刻槽机的实时控制系统
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作者 谢志平 张励 +1 位作者 杨朱 杨兴国 《光电子技术与信息》 1998年第6期24-28,共5页
以“JJK激光自动刻槽机”的控制和监测系统为实例,扼要描述光点物面位移法刻槽电阻如何实现动态阻值精度测量和控制。
关键词 激光刻槽机 调Q激光 激光加工
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热烈庆祝DL—UVSi200型紫外激光刻槽机顺利通过无锡尚德验收
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《光机电信息》 2006年第9期58-58,共1页
DL—UVSi200型紫外激光刻槽机是苏州德龙激光有限公司和无锡尚德联合开发的新一代激光刻槽设备,可用于各类晶体型硅太阳能电池的刻槽及砷化镓等其他半导体材料的精密划线、划片、切割或其他微处理。该设备采用紫外激光功率单模输出高... DL—UVSi200型紫外激光刻槽机是苏州德龙激光有限公司和无锡尚德联合开发的新一代激光刻槽设备,可用于各类晶体型硅太阳能电池的刻槽及砷化镓等其他半导体材料的精密划线、划片、切割或其他微处理。该设备采用紫外激光功率单模输出高达5W,加工速度快、精度高、功能全、操作简便,长时间连续工作条件下的各项性能指标均稳定可靠。目前该设备已经通过无锡尚德的验收,正式交付使用。 展开更多
关键词 DL-UVSi200型紫外激光刻槽机 无锡 硅太阳能电池 半导体材料 联合开发 激光功率
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