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圆柱状电阻激光刻槽扩阻研究 被引量:3
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作者 张励 谢志平 杨兴国 《光电子技术与信息》 1998年第3期29-32,共4页
圆柱状精密金属膜电阻采用激光刻螺线槽是电阻器制造技术的趋势。着重描述了激光扩阻试验依据和结果分析。
关键词 扩阻倍率 激光刻螺线槽 金属膜电阻 激光加工
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