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TDL-J60S激光晶体炉的开发研制 被引量:3
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作者 董淑梅 王庆 《电子工业专用设备》 2003年第6期51-54,共4页
介绍了一种新开发的TDL-J60S激光晶体炉设备,设备的机械结构及电气控制,着重介绍 该设备的创新单元技术,上称重自动等径控制系统。
关键词 激光单晶炉 提拉系统 自动控径
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