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TDL-J60S激光晶体炉的开发研制
被引量:
3
1
作者
董淑梅
王庆
《电子工业专用设备》
2003年第6期51-54,共4页
介绍了一种新开发的TDL-J60S激光晶体炉设备,设备的机械结构及电气控制,着重介绍 该设备的创新单元技术,上称重自动等径控制系统。
关键词
激光单晶炉
提拉系统
自动控径
下载PDF
职称材料
题名
TDL-J60S激光晶体炉的开发研制
被引量:
3
1
作者
董淑梅
王庆
机构
西安理工大学晶体生长设备研究所
出处
《电子工业专用设备》
2003年第6期51-54,共4页
文摘
介绍了一种新开发的TDL-J60S激光晶体炉设备,设备的机械结构及电气控制,着重介绍 该设备的创新单元技术,上称重自动等径控制系统。
关键词
激光单晶炉
提拉系统
自动控径
Keywords
Laser Crystal Growth Furnace
Puller System
Automatic Diameter Control
分类号
TF806 [冶金工程—有色金属冶金]
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作者
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1
TDL-J60S激光晶体炉的开发研制
董淑梅
王庆
《电子工业专用设备》
2003
3
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