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超光滑表面三维微观轮廓检测的研究 被引量：2
1
作者 王元庆 《计量学报》 CSCD 北大核心 2000年第3期178-182,共5页
利用干涉共模抑制和光电信号共模抑制技术 ,辅以二维扫描平台及计算机控制与数据处理技术 ,可以高精度地无损测量超光滑表面三维微观轮廓。本文论述了上述测量系统的原理、结构和误差分析 ,并讨论了关于三维微观轮廓的定义问题。
关键词 三维轮廓 超光滑表面 检测 激光双焦干涉
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超光滑表面微观轮廓三维检测的研究 被引量：1
2
作者 王元庆 《应用激光》 CSCD 北大核心 1999年第1期25-27,21,共4页
利用于涉并模抑制和光电信号共模抑制技术，辅以二维扫描平台及计算机控制与数据处理技术，可以高精度地无损测量超光滑表面三维微观轮廓；本文论述了上述测量系统的原理、结构和误差分析，并讨论了三维微观轮廓的定义问题．
关键词 三维轮廓 二维扫描 测量 激光双焦干涉
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