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加速度对激光双频干涉仪测量误差的影响 被引量:6
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作者 张志平 程兆谷 +1 位作者 覃兆宇 朱健强 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期694-698,共5页
为了减少由于加速度所导致的激光双频干涉仪测量误差,引入二阶多普勒频移,建立了由被测物体加速度所引起的测量误差的理论模型。仿真结果表明,在0.4s时间内0.6g加速度所引起的累积误差可达2.5nm左右,这对于纳米精度的测量是不应忽视的;... 为了减少由于加速度所导致的激光双频干涉仪测量误差,引入二阶多普勒频移,建立了由被测物体加速度所引起的测量误差的理论模型。仿真结果表明,在0.4s时间内0.6g加速度所引起的累积误差可达2.5nm左右,这对于纳米精度的测量是不应忽视的;初速度不为零时加速运动会引起更大的误差,而减速运动所引起的误差则相对小。通过实验验证,所测的误差变化趋势与理论模拟比较吻合。 展开更多
关键词 测量 激光双频干涉仪 加速度 累积误差 多普勒
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四轴联动加工中心回转轴几何误差参数的辨识及测量 被引量:2
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作者 郭红旗 赵小松 +1 位作者 刘又午 仝庆根 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期463-466,共4页
在三轴加工中心的 2 1项几何误差参数测量和辨识基础上 ,借助激光双频干涉仪、高精度电动测微仪以及 Renishaw公司的回转精度测量仪测定综合回转误差 ,并对其进行了具体分析和辨识 .辨识结果表明 ,本方法解决了以前无法测量和分析辨识... 在三轴加工中心的 2 1项几何误差参数测量和辨识基础上 ,借助激光双频干涉仪、高精度电动测微仪以及 Renishaw公司的回转精度测量仪测定综合回转误差 ,并对其进行了具体分析和辨识 .辨识结果表明 ,本方法解决了以前无法测量和分析辨识回转误差的难题 ,有一定理论和使用价值 . 展开更多
关键词 参数辨识 回转误差 电动测微仪 激光双频干涉仪 回转精度测量仪
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电压输出型线位移传感器动态检定系统 被引量:1
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作者 吴燕华 张涛 +1 位作者 尹伯彪 康岩辉 《机械》 2005年第7期45-46,48,共3页
对电压输出型线位移传感器按ZBY143-83自动检定时,很难同时满足接近测点的方向性及重复定位精度的双重要求。为此研制了动态检定系统,以双纵模双频激光干涉仪提供标准位移,采用微机接口卡高速数据采集处理技术,实现了对量程不超过500mm... 对电压输出型线位移传感器按ZBY143-83自动检定时,很难同时满足接近测点的方向性及重复定位精度的双重要求。为此研制了动态检定系统,以双纵模双频激光干涉仪提供标准位移,采用微机接口卡高速数据采集处理技术,实现了对量程不超过500mm的传感器的高效自动检定。系统总不确定度不大于2μm,测量速度不大于20mm/s,除被测传感器安装外,全部检测工作完全由微机控制自动完成。 展开更多
关键词 线位移传感器 动态检定 纵模激光干涉仪 高速数据采集处理
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Roll-to-roll imprint for high precision grating manufacturing 被引量:3
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作者 Liu Hongzhong Shi Yongsheng +2 位作者 Yin Lei Jiang Weitao Lu Bingheng 《Engineering Sciences》 EI 2013年第1期39-43,共5页
In this paper,a novel roll-to-roll imprint process is proposed to fabricate gratings in large area. The key challenges in roll-to-roll imprint process,such as the roller mold preparation,imprint system,misalignment of... In this paper,a novel roll-to-roll imprint process is proposed to fabricate gratings in large area. The key challenges in roll-to-roll imprint process,such as the roller mold preparation,imprint system,misalignment of imprint roller and backup roller,and also the imprint pressure,are investigated. Various gratings with different periods and profiles are obtained by the roll-to-roll process. To calibrate the measuring ability of the self-made grating by imprint,a calibration system is built with a dual-frequency laser interferometer. By the calibration,the self-made gratings can achieve ±4μm accuracy in 45mm measuring distance. 展开更多
关键词 high-precision gratings roll-to-roll imprint MISALIGNMENT roller mold
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Design and testing of micro-tribometer with macro applied load
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作者 XU HongYi ZHANG ChenHui WU Pu 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第11期1666-1672,共7页
With the development of superlubricity, the requirement for the accuracy of measuring super low friction force becomes more and more high. In this study, a novel micro-tribometer has been designed. The resolution and ... With the development of superlubricity, the requirement for the accuracy of measuring super low friction force becomes more and more high. In this study, a novel micro-tribometer has been designed. The resolution and accuracy of friction force are 0.01 m N by using the dual frequency laser interferometer. Experiments were performed to investigate the ability of measuring friction force from different aspects. The interference signal mixed in the measured friction force curve was analyzed and can be removed by a designed filter. The results of experiment show that the tribometer is capable of measuring a super low friction force in the order of magnitude of 0.01 m N with an applied load up to 1 N. 展开更多
关键词 friction test methods dual-frequency laser interferometer bender piezo actuator
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GW-1型光纤测微仪
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作者 金泰义 徐育 《科技开发动态》 1994年第5期20-20,共1页
关键词 光纤测微仪 光纤传感器 惠普激光干涉仪 示值误差
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