5009激光图形发生器曝光实验

激光图形发生器是一种用于图形转化的硬件接口设备,直接影响着掩膜版的加工质量。激光图形发生器曝光过程中出现的曝光偏移、曝光遗漏问题,严重影响了掩膜版加工的质量和成品率。通过实验和分析,总结了产生曝光偏移、曝光遗漏的一些原因。

EM-5009B激光图形发生器光栏的修正方法

激光图形发生器是半导体掩膜制版的主要设备之一,它具有精度高、结构复杂、操作简单和生产效率高等特点,但是,其光栏精度对加工的版图精度有很大的影响。文章根据光栏的结构原理和实际应用,详细阐述了EM-5009B激光图形发生器光栏的修正方法。

大幅提高ЭМ-5009Б激光图形发生器的曝光速率

根据ЭМ－５００９Б激光图形发生器的工件台运动方式，

ЭМ-5009Б激光图形发生器结构原理及维修实例

简要介绍了白俄罗斯产ЭМ－５００９Б激光图形发生器的结构原理；结合实例说明一般维修方法的实现过程。

EM-5009b激光图形发生器漏曝和曝光移位现象研究

针对EM-5009b激光图形发生器出现漏曝、曝光移位问题，通过实验和分析。总结了产生漏曝、曝光移位现象的一些原因。

激光图形发生器调焦系统设计

为提高激光图形发生器的线条制作精度和制作效率,设计了新的调焦系统。调焦采用光学离轴探测原理,调焦辅助光源直接采用半导体激光器(LD)的准直椭圆光束,探测器为二象限光电池,离焦信号则采用除法构建。调焦系统具有过阻尼的二阶系统特征,新嵌入的PID控制器提升了系统的动态性能,并使系统闭环精度达0.2μm离焦量,同时能产生预期的基于不同离焦量的变线宽图形。

激光切缝图形对金刚石圆锯片噪声的影响

根据金刚石圆锯片基体上激光切缝图形降低噪声的原理 ,设计了几种激光切缝图形的消音金刚石圆锯片 ;对金刚石圆锯片的噪声进行了对比测试研究 ,分析了不同激光切缝图形、喷水、槽宽等各种因素对噪声的影响。

激光技术在刚挠性HDI板的应用——微导通孔形成，图形成形，外型加工

概述了采用一个激光源能够加工刚性和挠性板的一种新型激光技术,PCB制造商可能采用最小的投资和提高生产率而进入HDI市场.

智能激光矢量扫描显示器的研制

本文介绍一种新型智能激光图形显示器。这是一个光、机、电结合的具有八十年代先进水平的显示装置。该装置有亮度大、图像清晰、便于计算机控制等一系列优点。特别适用于军事模拟训练等需要各种大屏幕显示的场合。本文讨论了有关的设计思想,介绍了其中的关键技术设计,并给出了实验结果。

ISI-2802激光直写系统简介

ＩＳＩ┐２８０２激光直写系统简介微细加工光学技术国家重点实验室于１９９６年从加拿大引进了国内第一台激光直写系统（又称激光图形发生器），型号为ＩＳＩ－２８０２，生产厂家是ＩｎｔｅｒｔｅｃｈＳｙｓｔｅｍｓＩｎｃ．。１系统主要性能（１）可写范围：１５０ｍｍ...

Micronic革新图形技术与客户双赢

光刻胶、掩膜版和光刻机一直以来是构成光刻的三要素．掩膜版的技术水平直接影响着半导体光刻技术的发展．而目前几乎所有平板显示器的制造过程也必须用到光掩膜。Micronic Laser Systems AB正是提供TFT-LCD．半导体和先进电子封装制造中掩膜版生产工具．激光图形发生器的公司。

齿面微观形态对齿轮耐磨性能影响的试验研究

利用试验优化技术设计试验方案,采用激光图形雕刻加工的手段实现齿轮表面仿生非光滑形态,研究非光滑与光滑两种形态齿轮的耐磨损性能.试验结果表明,具有非光滑形态的齿轮,试验后其齿形误差大部分降低;而未处理过的光滑形态齿轮,其误差值明显增大,甚至出现了负值,说明光滑形态的齿轮在磨损试验过程中磨损量较大,非光滑形态齿轮较光滑齿轮的耐磨性提高了近20%.

仿生表面形态对齿轮弯曲疲劳性能的影响

以工程仿生学为基础,利用试验优化设计方法设计试验方案,采用激光图形雕刻加工实现齿根处的仿生表面形态,研究仿生表面形态齿轮和普通齿轮的弯曲疲劳性能。试验结果表明,与普通齿轮相比较,具有仿生表面形态的齿轮试件的弯曲疲劳寿命提高了1.06～1.42倍,仿生表面形态改善了齿轮的抗疲劳性能。

不同单晶硅太阳电池机械性能分析

随着太阳电池技术的发展,新电池技术不断出现,太阳电池的主栅数量也在增加。本文采用四点弯曲方式测试不同主栅数量电池、单晶硅钝化发射极背面接触(PERC)电池的机械性能,初步探讨主栅数量及不同生产工艺对电池抗弯强度的影响。研究表明:随着太阳电池主栅数量增加,电池抗弯强度没有明显变化,PERC电池的抗弯强度略低于常规电池,PERC电池不同激光刻槽设计对电池抗弯强度存在影响。

溶胶－凝胶法在平面光波导薄膜中的应用

溶胶－凝胶工艺在薄膜制备方面有其独特的优越性，如工艺过程温度低、成分均匀、纯度高、成膜面积大等。近年来已在薄膜制备方面得到广泛应用。本文简要地综述了溶胶－凝胶工艺在制备平面光波导薄膜中的应用。

图形输出激光防伪标识

图形输出激光防伪标识是依赖图形输出TEACO_2激光器输出的高能激光束,经聚焦后瞬间在被标记物品表面高温汽化而成的新型防伪标识。它的最大特点是将防伪标识的制作、使用置于同时、同地点在线进行,避免了防伪标识易地制作、使用过程中造成的仿冒制假漏洞。

离焦写入线宽的动态高斯模型

为提高集成光学器件中的多线宽制作效率,提出了基于激光直接写入技术的离焦加工模式,即加工时激光束的聚焦点不落在胶层表面而是在其前方或后方;同时还建立了基于多个加工参量的线宽数学模型。此线宽模型首先假定激光束经物镜变换后,在像方任意离焦面上的能量仍保持高斯分布,其次还考虑了光束动态扫描引起的光斑线度对曝光能量分布的影响,故称其为动态高斯模型。此线宽模型涉及光功率、基片离焦量、光束扫描速度、胶层曝光能量阈值等加工参量。对线宽模型的验证在自行研发的极坐标型激光图形发生器上进行,实验表明:相对于不考虑光斑运动的静态高斯模型,动态高斯模型更为符合实验结果。