激光复合扫描剥离法制备大面积薄膜

提出了一种新的制备大面积超导薄膜的方法.他人的方法是:基片运动或靶体倾斜运动或激光束运动.该方法是:基片不动, 采用光学变换系统,让脉冲激光按设定的象行星运动一样的轨迹旋转, 复合扫描剥离耙材, 淀积成薄膜.且提出了淀积厚度分布的理论模型, 模型中的参量均与实验参数联系起来, 从模型可以较容易地分析出膜厚分布的特点.这对改善实验条件, 获取厚度均匀的大面积超导薄膜具有直接的指导意义.理论计算和实际结果均表明该方法制得的薄膜面积较大, 厚度更均匀.得到的薄膜厚度均匀性大于0.95,面积可达几平方厘米,满足工业上微波超导器件等对薄膜的要求.(PE21)