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用激光外差干涉仪探测金属表面超声振动的实验设计 被引量:4
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作者 丁红胜 童莉葛 +1 位作者 潘礼庆 王少铁 《物理实验》 北大核心 2004年第2期16-19,共4页
将激光外差法测量的科研成果转化为物理专业实验 ,设计了易于调节的激光外差干涉系统 ,实现了外差信号的接收 .用压电超声装置代替激光超声装置 ,使实验系统小型化 .
关键词 激光外差干涉仪 超声振动 非接触检测 压电超声装置 布拉格器件 探测器 声光调制
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激光外差干涉仪设计与实验研究 被引量:2
2
作者 李莉君 叶贤基 杨光 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2014年第2期66-68,共3页
将现代光学实验引入本科物理实验课程中有助于学生了解光学及科技应用的最新发展状况。外差干涉方法是精密测量微小位移的重要方法之一。以常用的光学实验仪器、光学元件和调整架等设备,给出了一种空间式的激光外差干涉实验设计方案,并... 将现代光学实验引入本科物理实验课程中有助于学生了解光学及科技应用的最新发展状况。外差干涉方法是精密测量微小位移的重要方法之一。以常用的光学实验仪器、光学元件和调整架等设备,给出了一种空间式的激光外差干涉实验设计方案,并自主搭建实验装置,用于大学物理实验的教学与研究。 展开更多
关键词 物理实验 激光外差干涉仪 声光调制 压电陶瓷
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探测激光超声用的激光外差干涉仪 被引量:3
3
作者 龚育良 张永智 梁海岩 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期502-506,共5页
述了用外差干涉法探测固体表面激光超声的原理和实验结果,讨论了信号光、参考光的准直角对信噪比S/N的影响和信号光在分束器上的入射角对外差信号强度的影响。理论和实验结果表明:当选择人射角时,可以得到约2倍的外差信号强度。... 述了用外差干涉法探测固体表面激光超声的原理和实验结果,讨论了信号光、参考光的准直角对信噪比S/N的影响和信号光在分束器上的入射角对外差信号强度的影响。理论和实验结果表明:当选择人射角时,可以得到约2倍的外差信号强度。为提高检测信号的强度,提出并讨论了外差干涉的共轭输出法。 展开更多
关键词 探测 激光超声 超声测量 激光外差干涉仪
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适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪
4
作者 李彬 梁晋文 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期658-661,共4页
适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪李彬,梁晋文(东南大学机械系南京210018)(清华大学精仪系北京100084)0引言多波长激光干涉测量利用合成波长概念,可以在降低或不降低测量灵敏度的前提下,延长干涉测量的... 适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪李彬,梁晋文(东南大学机械系南京210018)(清华大学精仪系北京100084)0引言多波长激光干涉测量利用合成波长概念,可以在降低或不降低测量灵敏度的前提下,延长干涉测量的非多值区间(unambiguous... 展开更多
关键词 激光外差干涉仪 干涉仪 测量
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基于FPGA的激光外差干涉仪反正切解调技术 被引量:1
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作者 柯伟 冯秀娟 +3 位作者 杨平 何龙标 邢广振 王敏 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第3期399-404,共6页
针对高频声学应用中多普勒信号软件解调的局限,提出了一种基于FPGA的数字硬件信号解调方案。基于AD9467设计了高速ADC采集系统,以实现原始多普勒信号的奈奎斯特采样或带通采样;基于Xilinx Zynq-7000片上芯片系统设计数字信号处理系统,... 针对高频声学应用中多普勒信号软件解调的局限,提出了一种基于FPGA的数字硬件信号解调方案。基于AD9467设计了高速ADC采集系统,以实现原始多普勒信号的奈奎斯特采样或带通采样;基于Xilinx Zynq-7000片上芯片系统设计数字信号处理系统,实现了DDS合成参考信号与多普勒信号混频、低通滤波产生I&Q基带信号对,采用CORDIC算法对I&Q基带信号对反正切解调得到待测振动位移,实现了多普勒信号的实时解调。50~500 kHz范围的数值仿真和50~300 kHz范围的初步实验结果验证了设计方案的可行性。 展开更多
关键词 计量学 声学测量 激光外差干涉仪 反正切解调 FPGA
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外差式激光干涉仪应用于正弦直线和旋转振动测量技术的研究 被引量:17
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作者 于梅 孙桥 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第3期237-241,共5页
介绍外差式激光干涉仪和应用于旋转振动测量的衍射光栅技术理论和工作原理。针对马赫泽德外差式激光干涉仪在绝对法振动校准技术中的应用,简要介绍了测量系统另外两个重要组成部分(频移变换和数字信号处理)的原理、算法和技术实现。这... 介绍外差式激光干涉仪和应用于旋转振动测量的衍射光栅技术理论和工作原理。针对马赫泽德外差式激光干涉仪在绝对法振动校准技术中的应用,简要介绍了测量系统另外两个重要组成部分(频移变换和数字信号处理)的原理、算法和技术实现。这种振动测量系统与正弦直线和旋转激振系统相配合,采用同一种正弦逼近的信号处理方法,可实现直线振动量(位移、速度、加速度)和旋转振动量(角位移、角速度、角加速度)两大类型、各种振动传感器幅相特性绝对法的精确校准。 展开更多
关键词 计量学 振动测量 外差激光干涉仪 正弦逼近法
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外差激光干涉仪的实现方法及其特点 被引量:4
7
作者 赵洋 李达成 梁晋文 《计量技术》 1996年第7期2-5,共4页
本文叙述了激光外差干涉测量技术的发展和应用。介绍了实现激光外差的三种方法:双频激光法、频移器件法和半导体激光线性调频法,文中分析了其特点及发展趋势。
关键词 外差激光干涉仪 干涉仪 测量
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渥拉斯顿棱镜偏摆对激光外差干涉直线度测量的影响分析 被引量:1
8
作者 张华叶 张恩政 +1 位作者 严利平 陈本永 《浙江理工大学学报(自然科学版)》 2012年第5期672-676,682,共6页
描述激光外差干涉直线度及其位置测量方法;分析由渥拉斯顿棱镜偏摆角引起的测量误差,建立激光外差干涉直线度及其位置测量误差的数学模型,并进行仿真分析研究。结果表明:渥拉斯顿棱镜倾角和摆角引入的测量误差为正弦型误差分量,当渥拉... 描述激光外差干涉直线度及其位置测量方法;分析由渥拉斯顿棱镜偏摆角引起的测量误差,建立激光外差干涉直线度及其位置测量误差的数学模型,并进行仿真分析研究。结果表明:渥拉斯顿棱镜倾角和摆角引入的测量误差为正弦型误差分量,当渥拉斯顿棱镜偏摆角为1°时,直线度的测量误差有约为100nm,位置误差约为1nm;当渥拉斯顿棱镜的倾角为15″时,直线度测量误差约为700nm,位置误差约为15nm。 展开更多
关键词 激光外差干涉仪 渥拉斯顿棱镜 直线度 倾角 摆角
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基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统 被引量:8
9
作者 何京徽 许素安 +4 位作者 谢敏 袁铭权 钱飞 陈乐 孙坚 《测控技术》 CSCD 北大核心 2014年第5期31-34,共4页
工业的发展对位置测量精度提出了越来越高的要求。测量外差干涉仪由于其自身测量范围广、测量速度高、稳定性好、分辨率高的特点,在纳米测量领域中得到广泛的应用。提出了一种基于LabVIEW的外差干涉纳米位移测量系统,该系统采用外差干... 工业的发展对位置测量精度提出了越来越高的要求。测量外差干涉仪由于其自身测量范围广、测量速度高、稳定性好、分辨率高的特点,在纳米测量领域中得到广泛的应用。提出了一种基于LabVIEW的外差干涉纳米位移测量系统,该系统采用外差干涉仪作为位置检测单元,利用LabVIEW图形化编程语言开发了纳米精度位移测量系统。该系统可广泛应用于纳米计量和超精密测量领域。 展开更多
关键词 激光外差干涉仪 纳米位移测量 LABVIEW
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激光干涉仪技术及发展 被引量:18
10
作者 羡一民 王科峰 《工具技术》 北大核心 2003年第11期68-74,共7页
关键词 单频激光干涉仪 外差激光干涉仪 带宽 增益 技术发展
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外差式激光干涉信号的采集与解调方法综述 被引量:9
11
作者 杨明 蔡晨光 +1 位作者 王颖 刘志华 《激光杂志》 北大核心 2018年第1期20-24,共5页
外差式激光干涉仪被广泛应用于激光干涉法振动绝对校准。基于外差式激光干涉仪的振动测量原理及其干涉信号的特点,重点阐述了现有外差式激光干涉信号采集方法的采集原理,采样频率与采样精度等的特点;分析总结了现有外差式激光干涉信号... 外差式激光干涉仪被广泛应用于激光干涉法振动绝对校准。基于外差式激光干涉仪的振动测量原理及其干涉信号的特点,重点阐述了现有外差式激光干涉信号采集方法的采集原理,采样频率与采样精度等的特点;分析总结了现有外差式激光干涉信号解调方法的解调原理,解调精度与实时性。针对现有干涉信号采集方法在采样频率与精度,解调方法在解调精度、实时性及降噪处理等方面存在的问题,提出改进建议,以提高外差式激光干涉仪振动测量的精度与实时性。 展开更多
关键词 外差激光干涉仪 外差激光干涉信号 采集方法 解调方法 振动测量
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全自动光栅尺激光外差动态检测系统 被引量:1
12
作者 吴玉斌 szu.edu.cn +1 位作者 胡晓朋 朱勤 《深圳大学学报(理工版)》 CAS 2000年第1期37-42,共6页
给出一种以激光外差干涉仪为基准,用计算机实现自动控制、数据采集、动态检测、误差分析和列表输出等多项功能的光栅尺高精度自动检测系统.与传统检测方法相比,具有精度高、自动化程度高、速度快和测量结果直观清晰等优点.该系统现... 给出一种以激光外差干涉仪为基准,用计算机实现自动控制、数据采集、动态检测、误差分析和列表输出等多项功能的光栅尺高精度自动检测系统.与传统检测方法相比,具有精度高、自动化程度高、速度快和测量结果直观清晰等优点.该系统现已用于大批量生产的光栅尺检测. 展开更多
关键词 激光外差干涉仪 光栅尺 动态自动检测
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光相干理论、干涉仪
13
《中国光学》 EI CAS 1997年第6期6-8,共3页
O436.1 97063538一种干涉测温的新方法=A novel interferometric thermometry[刊,中]/鲁强,曾绍群,徐海峰,刘贤德(华中理工大学光电子工程系.湖北,武汉(430074))∥光电工程.—1997,24(1).—46—50针对前后表面平行抛光的物质(如半导体... O436.1 97063538一种干涉测温的新方法=A novel interferometric thermometry[刊,中]/鲁强,曾绍群,徐海峰,刘贤德(华中理工大学光电子工程系.湖北,武汉(430074))∥光电工程.—1997,24(1).—46—50针对前后表面平行抛光的物质(如半导体芯片等),干涉测温是一种非常有效的非侵入性测量方法。 展开更多
关键词 激光外差干涉仪 干涉测温 非侵入性 测量方法 新方法 仪器仪表 测量精度 半导体芯片 光电工程 光电子
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激光超声检测铝合金材料的残余应力分布 被引量:32
14
作者 潘永东 钱梦騄 +1 位作者 徐卫疆 M.OURAK 《声学学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第3期254-257,共4页
为了有效检测铝合金材料上的残余应力分布,研究了用激光超声技术来检测铝合金材料上的残余应力分布的方法。该方法用Nd:YAG脉冲激光激发声表面波,并用外差激光干涉仪接收。理论分析表明可通过测量表面波在不同位置上声速的相对变化,来... 为了有效检测铝合金材料上的残余应力分布,研究了用激光超声技术来检测铝合金材料上的残余应力分布的方法。该方法用Nd:YAG脉冲激光激发声表面波,并用外差激光干涉仪接收。理论分析表明可通过测量表面波在不同位置上声速的相对变化,来确定试样的残余应力分布。并对无残余应力、有压缩残余应力、有拉伸残余应力的三个试样应力分布,进行了实验测定。结果证实了试样的残余应力分布可引发声表面波在不同位置上声速的相对变化,也证实了激光激发声表面波及其接收技术是一种无损检测材料内残余应力分布的有效方法。 展开更多
关键词 激光超声检测 铝合金材料 残余应力分布 外差激光干涉仪 拉伸残余应力 压缩残余应力
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基于偏振双反射膜的5 MHz频差He-Ne双频激光器 被引量:3
15
作者 高赛 殷纯永 郭继华 《计量学报》 CSCD 北大核心 2002年第4期241-244,共4页
提出了一种利用特殊多层反射膜—应力双反射膜制作的偏振双反射膜He Ne双频激光器 ,这种膜对不同偏振光在垂直入射时反射系数相位跃变不同。利用横向Zeeman效应减小模式耦合 ,使激光器能够输出 5MHz频差的正交线偏振光。进行了横向磁场... 提出了一种利用特殊多层反射膜—应力双反射膜制作的偏振双反射膜He Ne双频激光器 ,这种膜对不同偏振光在垂直入射时反射系数相位跃变不同。利用横向Zeeman效应减小模式耦合 ,使激光器能够输出 5MHz频差的正交线偏振光。进行了横向磁场的方向及激光器的偏振特性的实验研究。采用热补偿法稳频后 ,与中国计量科学研究院的碘稳频激光器 (波长扩展不确定度为 2 5× 10 - 1 1 )进行了拍频比对 ,比对结果表明 :激光器的频率稳定度为 1 4× 10 - 1 0 (10s采样 ) ,平均真空波长扩展不确定度为 3× 10 - 8(K =3)。这种双频激光器结构简单 ,光束特性好 ,频差合适 ,适于制作高测速外差干涉仪。 展开更多
关键词 偏振双反射膜 双频激光 拍频 偏振特性 外差激光干涉仪
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新一代冲击加速度国家基准装置的研究与建立 被引量:16
16
作者 于梅 胡红波 +2 位作者 左爱斌 杨丽峰 刘爱东 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2013年第10期124-129,共6页
研究建立的新一代冲击加速度国家基准装置,在冲击加速度峰值20~1 000 000 m/s2和脉冲持续时间20~200μs范围内,实现了加速度计冲击灵敏度激光干涉法的高精度校准。介绍了装置的结构组成和解决的关键技术问题,描述了中小冲击装置加速... 研究建立的新一代冲击加速度国家基准装置,在冲击加速度峰值20~1 000 000 m/s2和脉冲持续时间20~200μs范围内,实现了加速度计冲击灵敏度激光干涉法的高精度校准。介绍了装置的结构组成和解决的关键技术问题,描述了中小冲击装置加速度峰值和脉冲持续时间的控制功能,给出了装置的主要技术指标和实验数据。新一代冲击加速度基准装置可以解决国民经济各领域对冲击计量提出的宽量程、高准确度的量值溯源需求问题。 展开更多
关键词 计量学 冲击加速度计量基准 冲击加速度灵敏度 加速度峰值 冲击脉宽持续时间 外差正交激光干涉仪 测量不确定度
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0.1Hz~50kHz直线振动幅值和相位国家计量基准系统的研究 被引量:15
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作者 于梅 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2007年第7期54-58,共5页
描述中国计量科学院在直线振动幅值和相位测量的理论研究和技术实现方面取得的最新进展。简要介绍了国家高、中、低频振动基(副基)准幅相特性测量装置的系统构建、测量原理和技术实现,以及装置达到的主要技术指标。提出振动基(副基)准... 描述中国计量科学院在直线振动幅值和相位测量的理论研究和技术实现方面取得的最新进展。简要介绍了国家高、中、低频振动基(副基)准幅相特性测量装置的系统构建、测量原理和技术实现,以及装置达到的主要技术指标。提出振动基(副基)准优化提升中关键的技术创新点,如自主提出了改进的外差正弦逼近法和基于波峰波谷的外差时间间隔法,在压电高频(2kHz~50kHz)振动台上,首次在国内外实现了(1nm~500nm)振幅范围内的纳米级振动传感器灵敏度幅值和相移的测量。中国计量科学研究院(NIM)与德国物理技术研究院(PTB)在10Hz~10kHz范围内开展的标准加速度计灵敏度幅相特性国际双边比对验证了国家基准的测量不确定度。 展开更多
关键词 计量学 加速度计的复灵敏度 零差激光干涉仪 外差激光干涉仪 正弦逼近法
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光调制技术及器件
18
《中国光学》 EI CAS 1998年第6期58-58,共1页
TN761 98063908铌酸锂电光调制器用于激光外差干涉新方法=Newmethod of applying LN electrooptical modulatorto laser heterodyne interference[刊,中]/李彬,梁晋文(东南大学.江苏,南京(210018))
关键词 电光调制器 调制技术 新方法 东南大学 激光外差干涉仪 铌酸锂 南京 江苏 宇航 器件
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角振动测量方法的研究 被引量:8
19
作者 刘爱东 于梅 何闻 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2018年第12期216-219,共4页
中国计量科学研究院研制出频率范围0.000 5 Hz^1 200 Hz高精度角振动基准装置,低频角振动装置最大角位移300°,中频角振动装置最大角位移60°,角加速度范围为0.04 rad/s^2~2 000 rad/s^2。装置实现了衍射式外差激光干涉仪测量方... 中国计量科学研究院研制出频率范围0.000 5 Hz^1 200 Hz高精度角振动基准装置,低频角振动装置最大角位移300°,中频角振动装置最大角位移60°,角加速度范围为0.04 rad/s^2~2 000 rad/s^2。装置实现了衍射式外差激光干涉仪测量方法,以及圆光栅和双光束外差激光干涉仪差动测量。角加速度复灵敏度测量不确定度(k=2):参考点优于0.5%,0.5°,通频带优于1.0%,1.0°。 展开更多
关键词 角振动 角加速度 角速度 角位移 外差激光干涉仪 衍射光栅 正弦逼近法
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Multi-channel phasemeter and its application in the heterodyne laser interferometry 被引量:4
20
作者 LIU He Shan DONG Yu Hui +2 位作者 LUO Zi Ren LI Yu Qiong JIN Gang 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第4期746-749,共4页
The mission to detect gravitational wave in space requires a not only sophisticated but also ultra-precise laser interferometric measurement system.Within a single spacecraft,tens of interferometric beat signals are g... The mission to detect gravitational wave in space requires a not only sophisticated but also ultra-precise laser interferometric measurement system.Within a single spacecraft,tens of interferometric beat signals are generated at the same time and they also need to be processed simultaneously.In this paper,a multi-channel phasemeter which can parallelly process the signals is constructed.The test shows that a sensitivity of 2Π rad/√Hz could be achieved in the frequency range of 0.1 to 10 Hz.We also utilize the phasemeter to evaluate the performance of a heterodyne laser interferometer. 展开更多
关键词 外差激光干涉仪 多通道 应用 干涉测量系统 太空任务 频率范围 引力波 超精密
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