激光多普勒差动检波装置的信号研究(英文)

研究了差动多普勒技术和锁相放大器的频率跟踪技术,设计了一种精度高、动态范围大的激光多普勒差动检波系统.此系统结构紧凑,安装调节方便,可以充分利用激光光能.而且,它把两束高斯光束的束腰聚焦在被测物体上,获得了最小光斑和平面波的叠加,提高了分辨力、信噪比和信号强度.采用频率自动跟踪技术来解决信号丢失问题,抑制了各种噪声和干扰.模拟实验证明,振幅测量精度为 1%,频率为 0. 6%;分辨力为 50nm,技术指标是令人满意的.