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单片机在激光工件台中的应用 被引量:1
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作者 张福安 谭敏 《微细加工技术》 EI 1994年第2期16-21,共6页
本文介绍单片机在双频激光干涉工件台位置显示和微动控制中的应用,由于采用单片机使激光工件台位置显示精度高,微动控制简单、可靠。显示分辨率0.01μm,位置测量精度0.02μm,测量最大距离330mm,(实际距离100m... 本文介绍单片机在双频激光干涉工件台位置显示和微动控制中的应用,由于采用单片机使激光工件台位置显示精度高,微动控制简单、可靠。显示分辨率0.01μm,位置测量精度0.02μm,测量最大距离330mm,(实际距离100mm),微动距离5μm、10μm、50μm、100μm四档。 展开更多
关键词 电子束曝光机 激光工件台 微处理机
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超微细加工及设备
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《中国光学》 EI CAS 1995年第1期91-93,共3页
T N305.7 95010634原子印章YAG激光雕刻机的研究=The study oflaser carving machine for seals[刊,中]/王又青,黄欣明,李万荣,李再光,孟广君(激光技术国家重点实验室.湖北,武汉(430074))(深圳市现代印章材料厂.深圳(518029))//应用激光... T N305.7 95010634原子印章YAG激光雕刻机的研究=The study oflaser carving machine for seals[刊,中]/王又青,黄欣明,李万荣,李再光,孟广君(激光技术国家重点实验室.湖北,武汉(430074))(深圳市现代印章材料厂.深圳(518029))//应用激光.—1994,14(4).—181—183阐述了原子印章YAG脉冲激光雕刻机的工作原理,详细介绍了整机结构特点,以及激光器参数、工艺参数和计算机排版软件功能,并简述了激光进行原子印章雕刻时的作用机理和激光特性参数。 展开更多
关键词 激光雕刻机 原子印章 光刻伺服盘 微细加工技术 印章雕刻 激光技术 工艺参数 激光工件台 计算机排版 工作原理
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