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光栅角度传感器干涉计量原理
被引量:
1
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作者
邓晓旭
苗瑞
《森林工程》
2000年第4期30-31,共2页
介绍了一种激光干涉测角方法,它具有非接触、动态实时测量的特点。
关键词
干涉
计量
角
度传感器
光栅
激光干涉测角
下载PDF
职称材料
题名
光栅角度传感器干涉计量原理
被引量:
1
1
作者
邓晓旭
苗瑞
机构
哈尔滨工业大学应用物理系
黑龙江省国际工程技术合作集团公司
出处
《森林工程》
2000年第4期30-31,共2页
文摘
介绍了一种激光干涉测角方法,它具有非接触、动态实时测量的特点。
关键词
干涉
计量
角
度传感器
光栅
激光干涉测角
Keywords
Laser interferometry: Angle sensor
分类号
TG82 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
光栅角度传感器干涉计量原理
邓晓旭
苗瑞
《森林工程》
2000
1
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职称材料
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