工件表面粗糙度的激光散斑测量

本文介绍用激光散斑对比度测量工件表面粗糙度原理和方法。其测量范围为Ｒａ≤０． ０７２μｍ。一般 Ｒａ标准偏差为 ０． ００２μｍ，并可分辨国际中划分的各细分级粗糙度数值。本方法为非接触式测量，具有分辨率高、测速快、对外界光的干扰和振动不敏感的特点。

数字滤波在干涉术中应用

利用最小二乘法和加权平均法，把数字滤波应用到干涉术中，消除了在干涉条纹自动分析、计算时由于激光散班和杂光引起的测量误差。