一种新型激光测量仪在X-Y工作台定位误差动态测量和补偿中的应用

论述新型激光测量仪OFV-5000的测量原理和方法,分析X-Y工作台定位误差的构成,指出滚珠丝杠的螺距误差是影响工作台定位精度的主要因素,结合实验室的具体情况设计了一种X-Y工作台定位误差的动态测量方法。在分析定位误差的基础上,提出采用前馈补偿方法减小定位误差,并通过实验证明前馈补偿对提高系统定位精度非常有效。

X-Y工作台定位误差动态测量与补偿的研究

在详细论述了精密长光栅与激光测振仪OFV-5000的测量原理和方法之后,将二者结合设计了一种X-Y工作台定位误差的动态测量与补偿方法,并且通过实验验证了该方法的有效性。