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准直小孔法自动调焦在激光直写入系统中的应用
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作者 赵为党 沈亦兵 +2 位作者 刘玉玲 侯西云 杨国光 《光子学报》 EI CAS CSCD 1998年第8期753-756,共4页
本文介绍了一种新的自动调焦方法准直小孔法对自动调焦的原理和后继电路处理方法作了详细的分析它具有响应时间短、灵敏度高。
关键词 小孔法 自动调焦 激光直写入
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