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LDI曝光机分辨率对制作细线路的影响
1
作者
陈华丽
谢丹伟
林辉
《印制电路信息》
2020年第11期14-16,共3页
细线路的制作是一个系统工程。本文讨论的是LDI曝光机解析度对细线路制作的影响:从LDI图形成像原理看,曝光机的解析度越小越利于细线路制作;从实验结果看,曝光机解析度越小,蚀刻后无论是线宽还是线距,差距会越小。对于线宽/线距为40μm...
细线路的制作是一个系统工程。本文讨论的是LDI曝光机解析度对细线路制作的影响:从LDI图形成像原理看,曝光机的解析度越小越利于细线路制作;从实验结果看,曝光机解析度越小,蚀刻后无论是线宽还是线距,差距会越小。对于线宽/线距为40μm/40μm线路而言,LDI曝光机解析度相差1μm时(解析度分别为2μm与1μm),蚀刻后相邻线距差4μm有10%的差别,而相邻线距差3μm的有6.52%的差别。
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关键词
细线路制作
激光直接成像曝光机
解析度
掩膜工艺
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职称材料
题名
LDI曝光机分辨率对制作细线路的影响
1
作者
陈华丽
谢丹伟
林辉
机构
汕头超声印制板公司
出处
《印制电路信息》
2020年第11期14-16,共3页
文摘
细线路的制作是一个系统工程。本文讨论的是LDI曝光机解析度对细线路制作的影响:从LDI图形成像原理看,曝光机的解析度越小越利于细线路制作;从实验结果看,曝光机解析度越小,蚀刻后无论是线宽还是线距,差距会越小。对于线宽/线距为40μm/40μm线路而言,LDI曝光机解析度相差1μm时(解析度分别为2μm与1μm),蚀刻后相邻线距差4μm有10%的差别,而相邻线距差3μm的有6.52%的差别。
关键词
细线路制作
激光直接成像曝光机
解析度
掩膜工艺
Keywords
Fine Line
LDI(Laser Direct Imaging)
Resolution
Tenting Process
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
LDI曝光机分辨率对制作细线路的影响
陈华丽
谢丹伟
林辉
《印制电路信息》
2020
0
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职称材料
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