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固体表面的光学检测 被引量:1
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作者 祁建霞 杨健 《榆林学院学报》 2008年第2期49-51,共3页
对固体材料表面的光学检测方法进行了归纳介绍,总结出声光衍射检测技术、激光相位速度扫描检测技术和激光全息无损检测技术三种常用方法,并对各方法的原理、发展及适用范围进行了阐述。
关键词 光学检测 声光衍射 激光相位速度扫描 激光全息
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