激光聚焦光斑检测装置的创新设计

该文分析了当前常见的工件检测技术并阐述了目前检测技术当中的缺陷与成本高昂等问题。为了解决上述问题,该文重新设计激光聚焦光斑检测装置结构,在传统装置结构上增加了伺服电机,使其能够通过电机控制实时调整聚焦位置,提高了此技术的灵活性、普适性。经过测试,满足设计要求,最后叙述了新型激光聚焦光斑检测装置设计所带来的有益效果,阐述其应用场景。

激光聚焦光斑形状对溅射产物角分布的影响

讨论了将线形聚焦光斑看作是点溅射的线性迭加时 ,对衬底平面上溅射产物角分布影响的推导 。