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激光脉冲频率对不同衬底上非晶硅薄膜晶化的影响 被引量:3
1
作者 王强 花国然 顾江 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期282-285,共4页
应用不同频率的YAG激光分别对单晶硅及多晶硅衬底上的非晶硅薄膜进行了退火处理。晶化后的非晶硅薄膜的物相结构和表面形貌用XRD和AFM进行分析。XRD测试结果表明:随着激光频率的增加,两种衬底上的非晶硅薄膜晶化晶粒尺寸均出现了先增加... 应用不同频率的YAG激光分别对单晶硅及多晶硅衬底上的非晶硅薄膜进行了退火处理。晶化后的非晶硅薄膜的物相结构和表面形貌用XRD和AFM进行分析。XRD测试结果表明:随着激光频率的增加,两种衬底上的非晶硅薄膜晶化晶粒尺寸均出现了先增加后降低的现象。所有非晶硅样品的衍射峰位与衬底一致,说明非晶硅薄膜的晶粒生长是外延生长。从多晶硅衬底样品的XRD可以看出,随着激光频率的增加,激光首先融化衬底表面,然后衬底表层与非晶硅薄膜一起晶化。非晶硅薄膜最佳晶化激光频率分别为:多晶硅衬底20Hz,单晶硅衬底10Hz。 展开更多
关键词 YAG激光 硅衬底 非晶硅薄膜 激光脉冲频率
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两种激光脉冲频率准分子激光角膜原位磨镶术的效果分析
2
作者 王芳 邓应平 唐静 《国际眼科杂志》 CAS 2009年第4期790-791,共2页
目的:对两种激光脉冲频率(200Hz和400Hz)准分子激光角膜原位磨镶术(LASIK)矫正屈光不正的效果进行分析。方法:200Hz激光脉冲频率行LASIK的患者329例(644眼),400Hz激光脉冲频率行LASIK的患者357例(687眼)。所有病例按术前等效球镜度数分... 目的:对两种激光脉冲频率(200Hz和400Hz)准分子激光角膜原位磨镶术(LASIK)矫正屈光不正的效果进行分析。方法:200Hz激光脉冲频率行LASIK的患者329例(644眼),400Hz激光脉冲频率行LASIK的患者357例(687眼)。所有病例按术前等效球镜度数分为两组:A:-0.75~-6.00D,200Hz组355眼,400Hz组411眼;B:-6.12~-25.00D,200Hz组289眼,400Hz组276眼。观察术后1,7d;1,6mo;1a的裸眼视力(UCVA)。结果:A组术后1mo200Hz组和400Hz组病例UCVA比较具显著差异,400Hz组UCVA均值较大;其余各组各时点UCVA比较均无显著差异。200Hz组与400Hz组的手术时间相比具显著差异(t=34.198,P=0.000),400Hz组手术时间较短。结论:使用400Hz激光脉冲频率行LASIK的中低度近视及<-12.12D的高度近视病例术后早期视力恢复情况优于使用200Hz的病例。使用400Hz激光脉冲频率行LASIK可以明显缩短手术时间。 展开更多
关键词 LASIK 激光脉冲频率 裸眼视力
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一种小型脉冲激光器能量和重复频率测量电路 被引量:1
3
作者 侯宏录 辛光泽 郭淑玲 《兵工自动化》 2014年第9期76-80,共5页
针对传统激光功率计无法实时检测的缺点,设计一种基于PIN光电二极管的小型激光脉冲能量和频率实时检测电路。在激光器输出窗口前端设置光学玻璃对激光输出进行透射和散射,利用PIN光电二极管探测激光散射信号并完成光电转换。微弱电信号... 针对传统激光功率计无法实时检测的缺点,设计一种基于PIN光电二极管的小型激光脉冲能量和频率实时检测电路。在激光器输出窗口前端设置光学玻璃对激光输出进行透射和散射,利用PIN光电二极管探测激光散射信号并完成光电转换。微弱电信号经后续信号调理电路处理以外部中断方式触发单片机计时、计数,单片机同时采集调理电路的输出电压。系统最终实现了激光脉冲频率及能量的检测。测试结果表明:该系统的频率测量精度优于0.02%,能量测量精度优于1%,灵敏度优于0.8 V/mW,响应时间不大于3 ns。 展开更多
关键词 激光脉冲频率 光电检测 PIN光电二极管 前置放大
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激光脉冲重复频率对等离子体辐射特性的影响 被引量:12
4
作者 陈金忠 白津宁 +3 位作者 宋广聚 孙江 邓泽超 王英龙 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2916-2919,共4页
为了提高激光诱导击穿光谱质量,采用Nd∶YAG激光器输出的纳秒脉冲激光激发产生土壤等离子体,采用光栅光谱仪和光电检测系统记录了元素谱线AlⅠ394.401nm,BaⅠ455.403nm,FeⅠ430.791nm和TiⅠ498.173nm的辐射强度和信背比,研究了激光脉冲... 为了提高激光诱导击穿光谱质量,采用Nd∶YAG激光器输出的纳秒脉冲激光激发产生土壤等离子体,采用光栅光谱仪和光电检测系统记录了元素谱线AlⅠ394.401nm,BaⅠ455.403nm,FeⅠ430.791nm和TiⅠ498.173nm的辐射强度和信背比,研究了激光脉冲重复频率(5,10和15Hz)对等离子体辐射特性的影响。实验结果表明,在相同的激光输出能量条件下,当采用15Hz的激光脉冲重复频率时,元素Al,Ba,Fe和Ti的谱线强度要比5Hz时的分别提高50.94%,112.7%,107.46%和99.38%,光谱信背比分别提高15.16%,24.08%,40.26%和72.06%。通过测量等离子体参数,解释了激光脉冲重复频率对等离子体辐射特性的影响机理。 展开更多
关键词 激光诱导等离子体 激光脉冲重复频率 光谱强度 信背比
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高重复频率脉冲激光能量测量(英文) 被引量:5
5
作者 冯刚 冯国斌 +2 位作者 邵碧波 闫燕 王振宝 《中国光学》 EI CAS 2013年第2期196-200,共5页
设计了一种用于高重复频率脉冲激光能量测量的峰值保持电路。电路由电荷积分器、2阶低通滤波器、时间延迟触发器和峰值保持器组成,通过将光电流脉冲转换成电压脉冲,电压脉冲的峰值与对应电流脉冲所包含的能量成正比。实验测量结果表明:... 设计了一种用于高重复频率脉冲激光能量测量的峰值保持电路。电路由电荷积分器、2阶低通滤波器、时间延迟触发器和峰值保持器组成,通过将光电流脉冲转换成电压脉冲,电压脉冲的峰值与对应电流脉冲所包含的能量成正比。实验测量结果表明:该电路可以测量脉宽<10 ns,重复频率≥2 kHz的重频窄脉冲激光的脉冲能量,且工作稳定,其线性动态范围≥140倍。该电路可应用于光电阵列探测系统中,能实现较高的空间分辨力。 展开更多
关键词 激光能量测量 高重复频率脉冲激光 峰值保持电路 电荷积分器
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玻璃雕刻高频率脉冲激光器在我校问世
6
《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期88-88,共1页
关键词 频率脉冲激光 激光玻璃 雕刻系统 重复频率
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紫外激光作用频率对吸收玻璃的微孔加工研究 被引量:1
7
作者 李娜 张秋慧 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期43-44,共2页
采用紫外激光烧蚀材料微孔具有效率高,成本低等优势。本文主要研究了在固定激光脉冲能量下,紫外激光脉冲重复频率对吸收玻璃的微孔加工特性的影响。研究发现,紫外重复脉冲对材料的去除主要是基于单脉冲效应:频率较低时,相应单脉冲的能... 采用紫外激光烧蚀材料微孔具有效率高,成本低等优势。本文主要研究了在固定激光脉冲能量下,紫外激光脉冲重复频率对吸收玻璃的微孔加工特性的影响。研究发现,紫外重复脉冲对材料的去除主要是基于单脉冲效应:频率较低时,相应单脉冲的能量较大,激光烧蚀材料所产生的温度较高,激光等离子体冲击效应较强,这样将引起孔周围断裂;随着脉冲作用频率的增加以及相应能量的减小,热效应减小,使得烧蚀孔周围的断裂痕迹逐渐消失,且孔深度方向逐渐变浅。通过控制脉冲作用频率可以实现对孔的定性烧蚀。 展开更多
关键词 激光烧蚀 微孔加工 激光脉冲重复频率 冲击波
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高重复频率DPL激光辐照光学薄膜元件温升规律实验研究 被引量:1
8
作者 代福 龚自正 +1 位作者 牛锦超 曹燕 《航天器环境工程》 2009年第3期232-235,198,共4页
光学薄膜是激光系统中最易损坏的薄弱环节。在高重复频率脉冲激光辐照下光学薄膜表面温度急剧上升,导致膜层应力、结构发生变化,最后出现宏观的灾难性损伤。文章采用红外热像仪实时测量了重复频率10kHz的DPL脉冲激光辐照下光学薄膜元件... 光学薄膜是激光系统中最易损坏的薄弱环节。在高重复频率脉冲激光辐照下光学薄膜表面温度急剧上升,导致膜层应力、结构发生变化,最后出现宏观的灾难性损伤。文章采用红外热像仪实时测量了重复频率10kHz的DPL脉冲激光辐照下光学薄膜元件表面激光辐照中心点的温度变化,分析了影响薄膜元件温度变化的众多因素。结果表明,采用热导率较大的材料作基板的薄膜样品表面的温升较低;基板厚度越大的薄膜样品表面温升越低;薄膜表面激光辐照中心点的温度与样品的吸收峰值功率密度呈线性关系。 展开更多
关键词 脉冲激光重复频率 红外热像仪 热导率 吸收峰值功率密度 光学薄膜
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非晶硅薄膜的YAG激光晶化工艺研究 被引量:1
9
作者 王强 张竹青 +2 位作者 花国然 张华 李志锋 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期48-50,58,共4页
应用YAG激光器在不同工艺条件(激光脉冲频率及脉宽)下对非晶硅薄膜进行了微晶化处理。采用XRD和AFM对所制薄膜的物相结构和表面形貌进行了分析,并探索了激光脉冲占空比对非晶硅薄膜晶化的影响。结果表明,非晶硅薄膜在不同激光脉冲占空... 应用YAG激光器在不同工艺条件(激光脉冲频率及脉宽)下对非晶硅薄膜进行了微晶化处理。采用XRD和AFM对所制薄膜的物相结构和表面形貌进行了分析,并探索了激光脉冲占空比对非晶硅薄膜晶化的影响。结果表明,非晶硅薄膜在不同激光脉冲占空比情况下的结晶变化趋势均为多晶硅衬底表层先非晶化,后与非晶硅薄膜一起结晶,而利于其结晶的最佳占空比为1/25。已晶化硅薄膜的晶粒尺寸随占空比的增加先变大后变小。 展开更多
关键词 激光技术 激光脉冲频率 激光脉宽 脉冲占空比
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脉冲频率及扫描方式对光纤激光软钎焊的影响 被引量:4
10
作者 师文庆 杨永强 +2 位作者 郭炜 卫国强 黄延禄 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期494-497,共4页
为了研究光纤激光软钎焊中激光脉冲频率和扫描方式对焊接质量的影响,通过用12 W的100%功率的SP12P型脉冲式光纤激光扫描软钎焊系统在覆铜板上对Sn-Ag-Cu无铅钎料进行软钎焊实验,并对不同脉冲频率、不同扫描方式下的激光软钎焊技术进行... 为了研究光纤激光软钎焊中激光脉冲频率和扫描方式对焊接质量的影响,通过用12 W的100%功率的SP12P型脉冲式光纤激光扫描软钎焊系统在覆铜板上对Sn-Ag-Cu无铅钎料进行软钎焊实验,并对不同脉冲频率、不同扫描方式下的激光软钎焊技术进行实验研究。结果表明,在直线扫描方式下,高于超声波频率的500 kHz脉冲激光束作用于焊点时,会在钎料与焊盘之间的界面处发生空化作用,破碎氧化膜,使钎料在焊盘上润湿铺展,实现脉冲激光对无铅钎料Sn-Ag-Cu在覆铜板上的扫描软钎焊。 展开更多
关键词 激光技术 激光软钎焊 光纤激光 激光脉冲频率 扫描方式
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激光周向探测系统最佳脉冲频率与扫描转速 被引量:9
11
作者 徐孝彬 张合 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期195-201,共7页
针对单光束激光周向探测系统中的扫描频率与电机转速的匹配难点问题,进行了单光束脉冲激光周向探测系统的目标探测研究。为提高单光束脉冲激光周向探测系统探测概率,建立了周向探测系统的弹目交汇模型,运用蒙特卡罗算法分析了激光脉冲... 针对单光束激光周向探测系统中的扫描频率与电机转速的匹配难点问题,进行了单光束脉冲激光周向探测系统的目标探测研究。为提高单光束脉冲激光周向探测系统探测概率,建立了周向探测系统的弹目交汇模型,运用蒙特卡罗算法分析了激光脉冲频率和电机扫描转速对周向探测系统探测目标概率的影响,并选取最佳脉冲频率与电机扫描转速。根据最佳激光脉冲频率与电机扫描转速设计了原理样机并进行模拟探测实验。实验结果表明,当脉冲激光频率为20kHz,电机扫描转速为30000r/min时,在3m探测距离范围内周向探测系统能有效探测目标。为单光束激光周向探测系统的最佳激光脉冲频率和电机扫描转速设计提供依据。 展开更多
关键词 激光 脉冲激光 探测概率 蒙特卡罗算法 最佳激光脉冲频率 最佳电机扫描转速
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重复频率脉冲激光辐照金属材料热效应模拟分析 被引量:9
12
作者 胡鹏 陈发良 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期37-43,共7页
在不同占空比的重复频率脉冲激光辐照下,数值模拟了金属材料前、后表面的温升特性和烧蚀深度变化规律,考察了材料厚度和物性的影响。模拟结果表明,材料前表面温升曲线呈齿状;激光占空比越小或者材料越薄,材料后表面温度越高,烧蚀越深;... 在不同占空比的重复频率脉冲激光辐照下,数值模拟了金属材料前、后表面的温升特性和烧蚀深度变化规律,考察了材料厚度和物性的影响。模拟结果表明,材料前表面温升曲线呈齿状;激光占空比越小或者材料越薄,材料后表面温度越高,烧蚀越深;与连续激光相比,重复频率脉冲激光更有利于金属材料的加热及烧蚀。 展开更多
关键词 激光技术 激光烧蚀 有限元方法 重复频率脉冲激光
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重复频率HF激光脉冲能量稳定性的理论分析 被引量:4
13
作者 朱峰 黄珂 +2 位作者 陶蒙蒙 黄超 马连英 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期233-239,共7页
研究了重复频率HF脉冲激光器的气体介质对激光输出能量稳定性的影响规律。计算结果表明,激光器放电区内SF_6的解离率约为1.5%(略高于实验测量值),工作气体介质的消耗速率为2.2×10^(15)(cm^(-3)·s^(-1)),但消耗量比气体的初始... 研究了重复频率HF脉冲激光器的气体介质对激光输出能量稳定性的影响规律。计算结果表明,激光器放电区内SF_6的解离率约为1.5%(略高于实验测量值),工作气体介质的消耗速率为2.2×10^(15)(cm^(-3)·s^(-1)),但消耗量比气体的初始量小3~4个量级。通过合理控制激光器内HF的分子浓度,并适时补充激光器气体介质,可以提高激光器输出能量的稳定性。激光器输出能量变化分为过渡阶段和维持阶段,其中过渡阶段决定了重复频率工作模式下HF激光器的总体出光能力。计算结果可为重复频率非链式HF脉冲激光器设计提供技术支持。 展开更多
关键词 激光 中红外激光 重复频率脉冲HF激光 动力学分析 封闭循环
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YAG激光频率对a:H-Si薄膜微晶化的影响 被引量:2
14
作者 张竹青 王强 +1 位作者 花国然 周雨薇 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第2期173-177,共5页
研究了一种氢化非晶硅(a:H-Si)薄膜微晶化的激光控制工艺方法。在保持脉宽、激光功率和激光光斑大小一致的情况下,分别应用4、8、10、12、15Hz频率YAG激光对a:H-Si/晶体硅(c-Si)结构中的a:H-Si薄膜进行退火处理,探索了YAG激光脉冲频率对... 研究了一种氢化非晶硅(a:H-Si)薄膜微晶化的激光控制工艺方法。在保持脉宽、激光功率和激光光斑大小一致的情况下,分别应用4、8、10、12、15Hz频率YAG激光对a:H-Si/晶体硅(c-Si)结构中的a:H-Si薄膜进行退火处理,探索了YAG激光脉冲频率对a:H-Si薄膜微晶化的影响。用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对a:H-Si薄膜晶化后的物相结构和表面形貌进行了分析。实验结果表明,随着激光频率从4Hz增加到10Hz,a:H-Si薄膜晶化后的晶粒尺寸变大;随着激光频率从10Hz增加到15Hz,a:H-Si薄膜晶化后的晶粒尺寸逐步变小。脉冲频率为10Hz激光退火后的a:H-Si薄膜的晶化晶粒平均尺寸最大,约45nm。a:H-Si薄膜的表面电阻率随激光频率的增加总体呈下降趋势,晶化后晶粒尺寸最大的a:H-Si薄膜的表面电阻率最低。 展开更多
关键词 激光技术 YAG激光 氢化非晶硅薄膜 激光脉冲频率
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单频2μm波段全固态脉冲激光器技术进展 被引量:6
15
作者 陈忆兰 朱小磊 +2 位作者 张俊旋 刘继桥 陈卫标 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第5期63-70,共8页
2μm波段单频脉冲激光是用于大气风场及大气CO2浓度探测激光雷达的核心光源,根据不同的应用需求,系统阐述了2μm波段连续单频激光器、高重复频率脉冲激光器、低重复频率脉冲激光器的研究历程,并着重分析了各自的技术特点,最后对单频2μ... 2μm波段单频脉冲激光是用于大气风场及大气CO2浓度探测激光雷达的核心光源,根据不同的应用需求,系统阐述了2μm波段连续单频激光器、高重复频率脉冲激光器、低重复频率脉冲激光器的研究历程,并着重分析了各自的技术特点,最后对单频2μm波段全固态激光器的发展趋势作了展望。 展开更多
关键词 全固态激光 单频激光 高重复频率脉冲激光 低重复频率脉冲激光
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Experimental study of the characteristics of novel microactuator based on optothermal expansion 被引量:1
16
作者 刘超 《High Technology Letters》 EI CAS 2009年第2期131-134,共4页
A novel asymmetric optothermal microactuator was developed. A microactuator of 750μm length was machined by an excimer laser micmmachining system using single layer material. It had an asymmetric structure consisting... A novel asymmetric optothermal microactuator was developed. A microactuator of 750μm length was machined by an excimer laser micmmachining system using single layer material. It had an asymmetric structure consisting of two thin expansion arms with different widths. A laser diode (660nm) was employed as the external power source to activate the microactuator. We introduced a charge coupled device (CCD)-combined optical microscope and a computer system to observe and capture the microactuator' s deflection and vibration. Experiments have been carried out to check the feasibility of deflection, and the data of deflection have been measured under different laser power as well as under different pulse frequency. The results show that the actuator can practically generate an obvious lateral deflection or vibration, the maximum could be larger than 20μm. Moreover, the deflection status of the microactuator could be controlled wirelessly or remotely by changing the laser power and its pulse frequency. 展开更多
关键词 optothermal expansion MICROACTUATOR asymmetric structure DEFLECTION VIBRATION
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激光诱导等离子体点火方法研究进展 被引量:6
17
作者 陈梦 窦志国 席文雄 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第3期110-118,共9页
激光诱导等离子体点火(LIPI)具有点火位置可调、点火延迟时间短、无侵入式结构等优点,有取代电火花点火的潜力。从火焰核形成与发展的角度介绍了LIPI的基本物理过程,分析了点火过程中的能量沉积和转化。在现有研究的基础上,对包括激光... 激光诱导等离子体点火(LIPI)具有点火位置可调、点火延迟时间短、无侵入式结构等优点,有取代电火花点火的潜力。从火焰核形成与发展的角度介绍了LIPI的基本物理过程,分析了点火过程中的能量沉积和转化。在现有研究的基础上,对包括激光烧蚀等离子体点火、多点激光等离子体点火、预电离辅助激光等离子体点火和重复频率脉冲激光等离子体点火的性能进行了评价,并分析了每种方法的优缺点。指出了当前激光等离子体点火系统存在的问题,包括点火机理不完善、对非预混燃烧系统的点火特性研究不足、最小点火能量高等,并提出了下一步的研究方向和建议。 展开更多
关键词 激光光学 激光诱导等离子体点火 激光烧蚀 预电离 重复频率脉冲激光
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Epitaxial growth and in-plane dielectric properties of orthorhombic HoMnO_3 films
18
作者 GAO Ping WANG WeiTian +1 位作者 ZHANG Wei SUN YuMing 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2014年第10期1875-1878,共4页
Orthorhombic HoMnO3(HMO) thin films were grown epitaxially on LaAlO3(001) substrates by using pulsed laser deposition technique. The films showed perfect orthorhombic crystallization and were well-aligned with the sub... Orthorhombic HoMnO3(HMO) thin films were grown epitaxially on LaAlO3(001) substrates by using pulsed laser deposition technique. The films showed perfect orthorhombic crystallization and were well-aligned with the substrates. The in-plane dielectric constant and loss of HMO films were measured as functions of temperature(80–300 K) and frequency(120 Hz–100 kHz) by using coplanar interdigital electrodes. Two thermally activated dielectric relaxations were found, and the respective peaks shifted to higher temperatures as the measuring frequency increased. The in-plane dielectric properties of epitaxial orthorhombic HMO films were considered as universal dielectric response behavior, and the dipolar effects and the hopping conductivity induced by the charge carriers were used to explain the results. 展开更多
关键词 dielectric properties interdigital electrodes HoMnO3 thin films ORTHORHOMBIC
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Generation of picosecond vortex beam in a self-mode-locked Nd:YVO4 laser
19
作者 李祚涵 彭继迎 +3 位作者 李庆玲 高亦飞 李剑伟 曹秋园 《Optoelectronics Letters》 EI 2017年第3期188-191,共4页
In this paper, a self-mode-locked Nd:YVO_4 picosecond vortex laser is demonstrated, which can operate on the different Laguerre-Gaussian(LG) modes at 1 064 nm. A π/2 mode converter is utilized to realize the picoseco... In this paper, a self-mode-locked Nd:YVO_4 picosecond vortex laser is demonstrated, which can operate on the different Laguerre-Gaussian(LG) modes at 1 064 nm. A π/2 mode converter is utilized to realize the picosecond vortex laser with LG mode transformed from the high-order Hermite-Gaussian(HG) mode. For the proposed laser, the mode-locked pulse repetition rate is 1.81 GHz. The average output powers of LG_(12) mode and LG_(02) mode are 1.241 W and 1.27 W, respectively, and their slope efficiencies are 23.2% and 24%, respectively. 展开更多
关键词 locked vortex repetition converter utilized transformed mirror Laguerre decomposed operate
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