激光诱发前向转移技术在电子制造领域的应用

激光诱发前向转移是基于激光的诱导作用实现微量物质转移的技术。转移过程中激光与薄膜材料发生相互作用,使薄膜从源透明基板上剥离,转移到目标基板上,发生转移的薄膜最终在目标基板上发生沉积。作为微细加工的一种手段,激光诱发前向转移技术具备制作微小结构的能力,能实现金属、有机物、半导体和生物材料等多种材料的转移和图形制作,在电子制造领域有着广阔的应用前景。

基于飞秒激光诱发前向转移技术的研究

在激光诱导的作用下实现微量物质的转移技术即为激光诱发前向转移技术。飞秒激光具有激光脉宽极短、峰值功率极高的特点,其在与材料作用过程中的特性不同于长脉冲激光。在利用传统长脉冲激光对材料进行加工时,材料是通过固相、液相和气相这3个热熔过程而逐层剥离的,从而导致热扩散十分严重,进而对加工质量产生了很大的影响。飞秒激光烧蚀材料时间非常短,基体内的热传导可以被忽略,这就从根源上避免了长脉冲激光加工过程中产生的冲击波、热影响区和熔融区等不利影响,从而在一定意义上使冷加工得以实现。针对飞秒激光的特点、飞秒激光加工机理和飞秒诱发向前转移技术的优点进行了研究,希望对飞秒激光诱发前向转移技术有一个全面的了解。