微电子工业中的一种新型激光调修技术

新型激光调修技术与常规的CMOS处理方法完全兼容。用这种方法既可以调修模拟器件,也可以调修模拟和数字混合的微电子器件。该方法是用一束激光烧熔硅体,使两个p-n结二极管之间形成电连接而产生一个电阻器件。在自动设备系统中,1s内就可生产出这种激光扩散电阻,其阻值范围从100Ω到几MΩ,激光的重复调修过程可使电阻精度达到50ppm。用这种方法也可做出温度系数接近0的电阻。本文主要阐述生产这种电阻的方法、主要器件和有关处理方式的关键点。

电子式电度表

电子式电度表电子式电度表是机电部、电子部积极推广应用的新产品。其工作原理是利用分压器和分流器分别提供电压取样信号和电流取样信号，在四象限乘法器中相乘，输出一个正比于功率的模拟信号，经过电压频率转换、数字处理，产生相应的数字量，在一段时间产生的脉冲数正...