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激光辅助阳极化制备多孔硅的蓝光发射与红外研究 被引量:7
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作者 李鹏 马玉蓉 +1 位作者 方容川 胡克良 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期124-130,共7页
发现由n型单晶硅光照辅助阳极化制备的多孔硅在经过较长时间室温空气中放置氧化后,部分样品出现了蓝色光致荧光.荧光及红外透射、反射测量表明,在较强的氩离子488nm激光照射下制备的样品,经放置氧化后形成氧化层的组织较好,... 发现由n型单晶硅光照辅助阳极化制备的多孔硅在经过较长时间室温空气中放置氧化后,部分样品出现了蓝色光致荧光.荧光及红外透射、反射测量表明,在较强的氩离子488nm激光照射下制备的样品,经放置氧化后形成氧化层的组织较好,即氧化层中的应力较小、非晶程度相对较低、SiOSi的网络结构比较完整.而这样的氧化层是有利于多孔硅光致荧光中的蓝光发射的. 展开更多
关键词 激光辅助阳极化 多孔硅 蓝光发射 红外透射
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