满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度 ,其长度测量不确定度达到 ( 0 .0 2 +0 .2 L )μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析 。

双波长激光量块干涉仪研制

本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理 ,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术。该干涉仪满足 1等量块的测量不确定度要求 。

接触式量块激光干涉仪测量软件的设计与应用

本文针对接触式量块激光干涉仪的自动测量软件提出一套简便实用的设计方法 ,包括数据结构的定义、测量界面的组成、数据文件的自动处理及测量结果的自动保存等。在实验中 ,测头接触的重复性优于 1nm ,测量量块的重复性小于 5nm。