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激光量热法测量红外光学薄膜吸收 被引量:2
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作者 刘志国 熊胜明 张云洞 《光学仪器》 2004年第2期194-197,共4页
建立了一种评价波长为1.319μm光学薄膜的吸收损耗的吸收测量系统。采用激光量热计方法的原因在于:它已被广泛用来测量光学薄膜吸收,并且有很高的可靠性。描述了激光量热计法测量吸收装置的设计和建立,并给出基底—薄膜整体吸收的测量... 建立了一种评价波长为1.319μm光学薄膜的吸收损耗的吸收测量系统。采用激光量热计方法的原因在于:它已被广泛用来测量光学薄膜吸收,并且有很高的可靠性。描述了激光量热计法测量吸收装置的设计和建立,并给出基底—薄膜整体吸收的测量结果和记录的温度曲线,最后提出了在研究激光量热计测量方法中几个要考虑的问题。 展开更多
关键词 红外光学薄膜 吸收比 激光量热 激光量热
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基于指数法评估激光量热仪吸收测量不确定度 被引量:2
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作者 谷勇强 张立超 +2 位作者 武潇野 梅林 时光 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期278-285,共8页
为了掌握熔石英样品在紫外波段的吸收特性,研究了精确评估激光量热仪测量不确定度的方法。介绍了激光量热仪的吸收测量原理,选用指数法对吸收测量数据进行了拟合;通过分析各吸收率测量结果的影响分量,建立了测量不确定度评估模型;对各... 为了掌握熔石英样品在紫外波段的吸收特性,研究了精确评估激光量热仪测量不确定度的方法。介绍了激光量热仪的吸收测量原理,选用指数法对吸收测量数据进行了拟合;通过分析各吸收率测量结果的影响分量,建立了测量不确定度评估模型;对各输入量的估计值以及估计值的标准不确定度逐一进行计算,并对影响吸收率测量结果的拟合计算参数A、γ进行了修正。考虑背景温度漂移对被测样品温度测量的影响,利用Matlab编程分析了线性、非线性温度漂移对吸收计算结果的影响,获得其相对标准不确定度及相对扩展不确定度分别为2.6%和5.2%。最后,更换熔石英基底并进行多次吸收测量,计算了吸收率10次测量结果平均值的相对标准不确定度为2.3%,相对扩展不确定度为4.6%,与评估结果基本相同。 展开更多
关键词 技术 激光量热 指数法 吸收测 不确定度 温度漂移 熔石英
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激光量热法测量K9基片的表面吸收和体吸收 被引量:1
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作者 刘浩 潘峰 +4 位作者 陈松林 王震 马平 欧阳升 卫耀伟 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期292-296,共5页
表面抛光可能给K9基片带来额外的杂质和吸收,分离K9基片的表面吸收率与体吸收率有助于改进基片的加工质量和抛光工艺,对抗损伤能力研究具有重要意义。分析了激光量热法测量弱吸收的原理,采用符合ISO 11551要求的激光量热计测量K9基片的... 表面抛光可能给K9基片带来额外的杂质和吸收,分离K9基片的表面吸收率与体吸收率有助于改进基片的加工质量和抛光工艺,对抗损伤能力研究具有重要意义。分析了激光量热法测量弱吸收的原理,采用符合ISO 11551要求的激光量热计测量K9基片的弱吸收。对相同工艺抛光的不同厚度K9基片进行了弱吸收表征,实验发现K9基片的弱吸收随着厚度增加近似线性增大。推导了表面吸收率和体吸收率的计算式,实验得出本样品的表面吸收率为1.21×10-5,体吸收率远大于表面吸收率,体吸收系数为1.72×10-3/cm。实验结果显示所用K9样品的吸收主要来自于材料本身,改善抛光工艺对降低其吸收率作用不大。 展开更多
关键词 激光量热 弱吸收 表面吸收 体吸收 K9基片
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激光量热法测量KTP晶体吸收系数的实验研究 被引量:1
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作者 黄呈辉 曾政东 +3 位作者 周玉平 曾瑞荣 沈鸿元 江爱栋 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1989年第1期88-91,共4页
用于产生二次谐波的倍频晶体,由于吸收了部分基波和谐波功率,导致晶体折射率的不均匀变化,引起失匹配,影响了倍频效率的提高。因此,吸收系数是表征晶体材料光学特性不可忽略的重要参数之一。它的精确测量,对于评价晶体质量,准确... 用于产生二次谐波的倍频晶体,由于吸收了部分基波和谐波功率,导致晶体折射率的不均匀变化,引起失匹配,影响了倍频效率的提高。因此,吸收系数是表征晶体材料光学特性不可忽略的重要参数之一。它的精确测量,对于评价晶体质量,准确设计器件以及提高器件性能都具有实际的竟义。 展开更多
关键词 KTP晶体 吸收系数 激光量热
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193nm光学薄膜激光量热吸收测试及系统校正 被引量:2
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作者 靳京城 金春水 邓文渊 《分析仪器》 CAS 2011年第1期59-64,共6页
高精度测量薄膜的吸收系数对于激光光学薄膜研究具有重大意义,而激光量热计是一种可靠灵敏的光学器件吸收测量工具。本文介绍了激光量热计的基本原理与实验装置。考虑到193nm波段的测量应用,讨论了系统的校正操作,包括能量探测器、样品... 高精度测量薄膜的吸收系数对于激光光学薄膜研究具有重大意义,而激光量热计是一种可靠灵敏的光学器件吸收测量工具。本文介绍了激光量热计的基本原理与实验装置。考虑到193nm波段的测量应用,讨论了系统的校正操作,包括能量探测器、样品热容、温度漂移、杂散光及热传导校正,以提高测量精度。 展开更多
关键词 193nm光学薄膜 吸收系数激光量热 系统校正
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激光量热法测量光学薄膜微弱吸收 被引量:12
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作者 李斌成 熊胜明 +1 位作者 Holger Blaschke Detlev Ristau 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期823-826,共4页
按照国际标准ISO 11551研制了用于测量光学薄膜微弱吸收的激光量热装置。典型情况下吸收测量灵敏度优于10-6,测量误差估计为10%左右。在1064 nm波长测量1 mm厚石英玻璃基板的绝对吸收为3.4×10-6,测量灵敏度达到1.5×10-7。测... 按照国际标准ISO 11551研制了用于测量光学薄膜微弱吸收的激光量热装置。典型情况下吸收测量灵敏度优于10-6,测量误差估计为10%左右。在1064 nm波长测量1 mm厚石英玻璃基板的绝对吸收为3.4×10-6,测量灵敏度达到1.5×10-7。测量了不同膜层设计、不同使用角度、不同镀膜技术镀制的全介质高反膜样品;使用离子束溅射(IBS)技术镀制的Ta2O5/SiO2多层0°反射镜的吸收仅为1.08×10-5,而使用离子束辅助沉积(IAD)技术镀制的HfO2/SiO2多层45°反射镜的吸收测量值为6.83×10-5。 展开更多
关键词 技术 微弱吸收 激光量热 光学薄膜
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激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 被引量:8
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作者 赵灵 武潇野 +4 位作者 谷勇强 时光 梅林 才玺坤 张立超 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期180-187,共8页
为了获得薄膜材料吸收率与深紫外激光照射能量密度间的对应关系,掌握薄膜材料深紫外吸收特性,应制定相应的吸收测量规范。介绍了激光量热法的原理及测试流程,分析了测试过程中的剂量效应、非线性吸收和不可恢复吸收等现象,提出了利用激... 为了获得薄膜材料吸收率与深紫外激光照射能量密度间的对应关系,掌握薄膜材料深紫外吸收特性,应制定相应的吸收测量规范。介绍了激光量热法的原理及测试流程,分析了测试过程中的剂量效应、非线性吸收和不可恢复吸收等现象,提出了利用激光量热法测量应用于波长193nm紫外光刻系统的氟化物薄膜材料吸收率的方法,并进行了实际测量。根据所建立的测量方法,获得熔石英基底材料在193nm紫外光照射下的剂量效应及出现不可恢复吸收现象时相应的激光能量密度,进而测量出基底材料吸收率与激光能量密度之间的关系;通过热蒸发对基底镀氟化镁及氟化镧单层膜,测量镀膜后样品的吸收率与激光能量密度的关系,通过与镀膜前吸收率的对比,计算了两种薄膜材料吸收率与激光能量密度的关系,推算出薄膜材料在实际工作状态时的吸收率,并得到不同沉积温度下氟化镧薄膜材料吸收率、粗糙度与波纹度。实验结果证实了新提出测量方法的可行性,测量结果为改善系统成像质量以及延长元件使用寿命提供支持。 展开更多
关键词 薄膜 薄膜材料 193nm激光 激光量热 吸收系数
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应用于高性能光学薄膜表征的光热光声检测技术 被引量:6
8
作者 武潇野 张立超 时光 《中国光学》 EI CAS 2014年第5期701-711,共11页
本文介绍了光热与光声探测技术的基本原理,结合光学薄膜的吸收测试、光学薄膜的激光辐照特性表征、激光损伤特性表征以及光学薄膜的机械性质表征等各种具体应用,对激光量热法、光热偏转法、表面声波法等典型的光热、光声检测方法进行了... 本文介绍了光热与光声探测技术的基本原理,结合光学薄膜的吸收测试、光学薄膜的激光辐照特性表征、激光损伤特性表征以及光学薄膜的机械性质表征等各种具体应用,对激光量热法、光热偏转法、表面声波法等典型的光热、光声检测方法进行了分析;阐述了这些方法的测试原理以及各自优势与不足。介绍了该领域利用这些方法取得的一些成果,并就光声光热检测技术的发展趋势做了展望。 展开更多
关键词 方法 光声法 激光量热 激光辐照 检测技术
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真空环境下低损耗高反射光学元件性能退化特性 被引量:1
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作者 许彬 李斌成 +3 位作者 高椿明 王强 郭小红 孙启明 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期768-772,共5页
为了研究真空环境对光学薄膜的影响,将离子辅助沉积制备的1064nm强光反射膜样品放置于真空度优于1×10-5Pa的不锈钢真空室,实验观测其反射率和吸收损耗随放置时间的变化。结果表明,样品在真空环境放置335h后,其反射率从99.9823%下... 为了研究真空环境对光学薄膜的影响,将离子辅助沉积制备的1064nm强光反射膜样品放置于真空度优于1×10-5Pa的不锈钢真空室,实验观测其反射率和吸收损耗随放置时间的变化。结果表明,样品在真空环境放置335h后,其反射率从99.9823%下降到了99.9543%,吸收损耗从6.8×10-6上升到了59.5×10-6,用酒精乙醚混和液擦拭后其光学性能完全恢复,样品表面的污染层厚度随时间增加;操作过程中的人为因素是导致强光反射膜元件光学性能持续下降的主要原因。这一结果对高能/高功率激光光学元件在真空应用环境中稳定性的提高是有帮助的。 展开更多
关键词 薄膜 污染 激光量热 光腔衰荡 吸收损耗 反射率 真空环境
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Model heat source using actual distribution of laser power density for simulation of laser processing 被引量:3
10
作者 WANG Gen-wang DING Ye +2 位作者 GUAN Yan-chao WANG Yang YANG Li-jun 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第10期3277-3293,共17页
The model of heat source(MHS) which reflects the thermal interaction between materials and laser during processing determines the accuracy of simulation results. To acquire desirable simulations results, although vari... The model of heat source(MHS) which reflects the thermal interaction between materials and laser during processing determines the accuracy of simulation results. To acquire desirable simulations results, although various modifications of heat sources in the aspect of absorption process of laser by materials have been purposed, the distribution of laser power density(DLPD) in MHS is still modeled theoretically. However, in the actual situations of laser processing, the DLPD is definitely different from the ideal models. So, it is indispensable to build MHS using actual DLPD to improve the accuracy of simulation results. Besides, an automatic modeling method will be benefit to simplify the tedious pre-processing of simulations. This paper presents a modeling method and corresponding algorithm to model heat source using measured DLPD. This algorithm automatically processes original data to get modeling parameters and provides a step MHS combining with absorption models. Simulations and experiments of heat transfer in steel plates irradiated by laser prove the mothed and the step MHS. Moreover, the investigations of laser induced thermal-crack propagation in glass highlight the signification of modeling heat source based on actual DLPD and demonstrate the enormous application of this method in the simulation of laser processing. 展开更多
关键词 heat source laser processing distribution of power density digital images processing heat transfer
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Effect of Mesa Size on Thermal Characteristics of Ver tical-cavity Surface-emitting Lasers
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作者 HOU Shi-hua ZHAO Ding +2 位作者 SUN Yong-wei TAN Man-qing CHEN Liang-hui 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2005年第3期170-173,共4页
The effect of mesa size on th e thermal characteristics of etched mesa vertical-cavity surface-emitting lase rs(VCSELs) is studied. The numerical results show that the mesa size of the top mirror strongly influences t... The effect of mesa size on th e thermal characteristics of etched mesa vertical-cavity surface-emitting lase rs(VCSELs) is studied. The numerical results show that the mesa size of the top mirror strongly influences the temperature distribution inside the etched mesa V CSEL. Under a certain driving voltage, with decreasing mesa size, the location o f the maximal temperature moves towards the p-contact metal, the temperature in the core region of the active layer rises greatly, and the thermal characterist ics of the etched mesa VCSELs will deteriorate. 展开更多
关键词 Vertical-cavity surface-emitting lasers Etched mesa Mesa size Temperature distribution Location of the maximal temperature Finite difference method
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用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征 被引量:1
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作者 邓文渊 金春水 靳京城 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期16-21,共6页
对用于ArF准分子激光器的CaF2衬底进行了表征实验研究。采用分光光度计测量了CaF2衬底的透射光谱和反射光谱,利用激光量热法测量了CaF2衬底吸收,分别利用原子力显微镜(AFM)和白光干涉仪(WLI)测量了CaF2衬底的表面粗糙度,并计算了功率谱... 对用于ArF准分子激光器的CaF2衬底进行了表征实验研究。采用分光光度计测量了CaF2衬底的透射光谱和反射光谱,利用激光量热法测量了CaF2衬底吸收,分别利用原子力显微镜(AFM)和白光干涉仪(WLI)测量了CaF2衬底的表面粗糙度,并计算了功率谱密度(PSD)和表面散射,最后分别测量了CaF2衬底的荧光光谱、红外光谱和拉曼光谱。激光量热法测量5 mm厚准分子级CaF2衬底的吸收结果为922×10-6。AFM和WLI测得的CaF2衬底表面粗糙度均方根值分别为0.22和1.24 nm,计算表面散射损耗分别为0.005%和0.25%。荧光光谱在紫外(UV)级CaF2衬底中检测到Ce3+等杂质离子。红外光谱和拉曼光谱在CaF2衬底表面没有检测到水气和有机污染物。实验结果表明,激光量热法可以精确地测量和评价准分子级CaF2衬底的吸收,表面粗糙度的测量结果需要与散射的实测结果综合起来进行评价,荧光和红外等光谱技术是检测CaF2衬底内部痕量杂质及表面污染的有效手段。 展开更多
关键词 激光 ArF准分子激光 CaF2衬底 激光量热吸收 表面粗糙度 光谱术
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Ultrafast Electron Diffraction with Spatiotemporal Resolution of Atomic Motion
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作者 梁文锡 朱鹏飞 +6 位作者 王瑄 聂守华 张忠超 Clinite Rick 曹建明 盛政明 张杰 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2009年第2期61-64,共4页
Ultrafast electron diffraction (UED) is a rapidly advancing technique capable of recording the atomic-detail structural dynamics in real time. We report the establishment of the first UED system in China. Employing ... Ultrafast electron diffraction (UED) is a rapidly advancing technique capable of recording the atomic-detail structural dynamics in real time. We report the establishment of the first UED system in China. Employing this UED apparatus, both the coherent and the concurrent thermal lattice motions in an aluminium thin-film, trigged by ultrafast laser heating, have been observed. These results demonstrate its ability to directly measure a sub-milli-angstrom lattice spacing change on a sub-picosecond time scale. 展开更多
关键词 field emission molybdenum dioxide enhancement factor
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Preliminary study on theory and experiment of photo-mechanics manufacturing and detecting technologies based on laser thermal stress
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作者 Kong Dejun Zhang Yongkang +3 位作者 Zhu Hailin Lu Jinzhong Feng Aixin Wang Wei 《Engineering Sciences》 EI 2008年第3期52-56,共5页
Mechanics effect of laser thermal stress is a new manufacturing technology, which uses thermal stress by high power laser acted on the surface of metal material to produce stress field. The technologies such as sheet ... Mechanics effect of laser thermal stress is a new manufacturing technology, which uses thermal stress by high power laser acted on the surface of metal material to produce stress field. The technologies such as sheet metal formation by laser thermal stress, measurement by laser scratching and measurement by XRD (X-ray diffraction) are formed based on mechanics effects of laser thermal stress. The mechanisms of sheet metal formation by laser thermal stress, measurement by laser scratching and measurement by XRD are analyzed, and the theory of photo-mechanics manufacturing and detecting technologies based on laser thermal stress is originally put forward, whose experiment is primitively researched, and the manufacturing theory by mechanics effects of laser thermal stress is established. 展开更多
关键词 photo-dynamics manufacturing sheet metal forming by laser thermal stress laser scratching X-ray diffraction (XRD)
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Measurement of thermal boundary conductance between metal and dielectric materials using femtosecond laser transient thermoreflectance technique 被引量:5
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作者 ZHANG ChungWei BI KeDong +2 位作者 WANG JianLi NI ZhongHua CHEN YunFei 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2012年第4期1044-1049,共6页
The thermal boundary conductance of Al/SiO2, Al/Si, Au/SiO2, and Au/Si are measured by a femtosecond laser transient thermoreflectance technique. The distinct differences of the interfacial thermal conductance between... The thermal boundary conductance of Al/SiO2, Al/Si, Au/SiO2, and Au/Si are measured by a femtosecond laser transient thermoreflectance technique. The distinct differences of the interfacial thermal conductance between these samples are observed. For the same metal film, the thermal boundary conductance between metal and substrate decreases with the thermal conductivity of the substrate. The measured results are explained with the phonon diffusion mismatch model by introducing a phonon transmission coefficient across the interface. 展开更多
关键词 femtosecond transient thermoreflectance technique thermal boundary conductance thermal model phonon transimis- sion probability
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Experimental study of hypervapotron under conditions of high heat flux 被引量:1
16
作者 HUANG ShengHong WANG WeiRong +1 位作者 WANG ZongWei SONG YunTao 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2013年第1期222-227,共6页
In the light of the needs to develop high-performance heat transfer component for nation-level large-scale scientific projects of China,a hypervapotron experimental platform with supply of heat flux 1 10 MW m-2 was es... In the light of the needs to develop high-performance heat transfer component for nation-level large-scale scientific projects of China,a hypervapotron experimental platform with supply of heat flux 1 10 MW m-2 was established.With this platform,the multiphase flow and heat transfer phenomena on the surface of triangular fin when the subcooled water flowed through were observed and measured with the planar laser induced fluorescence(PLIF) and high-speed photography techniques.The temperature contour on the slice plane of fin symmetry was measured and the heat flux contour was processed based on gradient computation.It is confirmed that:1) PLIF with high-speed photography is very powerful technique to investigate the multiphase flow of hypervapotron quantitatively;2) evaporation is the primary way in heat transfer mechanism of hypervapotron flow under the condition of high heat flux.The techniques and results obtained will provide useful reference in the R&D of hypervapotron technology in China. 展开更多
关键词 HYPERVAPOTRON subcooled boiling high-speed photography planar laser induced fluorescence(PLIF)
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Thermal distribution analysis of multi-core photonic crystal fiber laser
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作者 郑一博 姚建铨 +5 位作者 张磊 王远 温午麒 景磊 邸志刚 康建诩 《Optoelectronics Letters》 EI 2012年第1期13-16,共4页
The thermal properties of photonic crystal fiber(PCF) laser with 18 circularly distributed cores are investigated by using full-vector finite element method(FEM).The results show that the 18-core PCF has a more effect... The thermal properties of photonic crystal fiber(PCF) laser with 18 circularly distributed cores are investigated by using full-vector finite element method(FEM).The results show that the 18-core PCF has a more effective thermal dispersion construction compared with the single core PCF and 19-core PCF.In addition,the temperature distribution of 18-core PCF laser with different thermal loads is simulated.The results show that the core temperature approaches the fiber drawing value of 1800 K approximately when the thermal load is above 80 W/m which corresponds to the pumping power of 600 W approximately,while the coating temperature approaches the damage value of about 550 K when the thermal load is above 15 W/m which corresponds to the pumping power of 110 W approximately.Therefore the fiber cooling is necessary to achieve power scaling.Compared with other different cooling systems,the copper cooling scheme is found to be an effective method to reduce the thermal effects. 展开更多
关键词 Cooling systems Fiber lasers Finite element method Photonic crystal fibers Thermal load Thermodynamic properties
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