弗里曼离子源灯丝中毒现象

根据近十年的工作实践，分析了Ｔ５１－２００／ＺＫ型金属离子注入机弗里曼离子源失效机理，着重讨论了以ＭｏＣｌ＿５为工作物质时的灯丝中毒现象。结合作者的工作经验，提出了减少灯丝中毒现象的一些具体措施。