-
题名DMD数字微镜驱动控制系统分析及其应用
被引量:3
- 1
-
-
作者
姜兆华
吴宾初
潘涌
安博言
骆公序
张伟
-
机构
上海市激光技术研究所
上海市激光束精细加工重点实验室
-
出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
2012年第3期212-216,共5页
-
基金
上海市科学技术委员会应用技术开发专项资金资助项目(项目编号:2010-212)
-
文摘
数字微反射镜器件(DMD)是数字式光处理(DLP)投影显示技术的核心,有着巨大的应用潜力。叙述了DMD的控制原理和特点。首先,基于DMD数字微镜控制器的驱动控制系统和采用二进制脉宽调制(BPWM)技术精确控制光源,接收PC机传输的实时图像显示数据,生成控制DMD翻转的控制时序及其复位脉冲信号,搭建了蓝光半导体激光投影光刻装置,实现了高分辨率灰度图像的分层曝光和曝光量的精确控制;其次,基于DLP投影系统,采用RGB激光源,通过光纤耦合和合束,建立了激光投影实验装置。
-
关键词
DMD
DMD驱动控制
二进制脉宽调制
灰度投影光刻
DLP技术
激光投影
-
Keywords
DMD
DMD drive control
binary pulse width modulation
gray-level projection photolithography
DLPtechnology
laser projection
-
分类号
TN946.1
[电子电信—信号与信息处理]
-