基于GMR的机床振动传感器设计与性能分析

依据精密加工过程中机床振动频率特点,设计了一种基于巨磁阻单元的三轴加速度传感器。该三轴加速度传感器机械感应部分采用对称四翼式结构,通过合理布局巨磁阻单元构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度,机械感应部分与信号输出部分的一体化设计大大减小了产品体积。对三轴加速度传感器进行了灵敏度仿真与试验,详细分析了仿真与试验的结果。