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低温度敏感度谐振式压力传感器设计与仿真
1
作者
李光贤
黄晶
+4 位作者
袁宇鹏
杨靖
李春洋
张祖伟
龙帅
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第2期202-206,共5页
为降低材料杨氏模量温度漂移和热应力对谐振式压力传感器温度漂移的影响,该文设计了一种基于Si-SiO 2复合H形谐振梁和双谐振器结构的低温度敏感度谐振压力传感器。通过有限元仿真软件COMSOL对传感器进行仿真验证。结果表明,在0~350 kPa...
为降低材料杨氏模量温度漂移和热应力对谐振式压力传感器温度漂移的影响,该文设计了一种基于Si-SiO 2复合H形谐振梁和双谐振器结构的低温度敏感度谐振压力传感器。通过有限元仿真软件COMSOL对传感器进行仿真验证。结果表明,在0~350 kPa内传感器灵敏度可达21.146 Hz/kPa,-50~125℃内零点温度漂移低至0.2 Hz/℃。与全硅结构相比,灵敏度温度漂移由339×10^(-6)/℃降低至14.1×10^(-6)/℃,可适应工作温度范围较高的环境。
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关键词
谐振式压力传感器
温度
漂移
温度
灵敏度
漂移
温度
补偿
下载PDF
职称材料
压阻式压力传感器的温度特性研究
被引量:
5
2
作者
郭涛
熊继军
张文栋
《测试技术学报》
2004年第z1期229-231,共3页
本文针对压阻式压力传感器的温度特性,提出了对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移的补偿方法:在传感器芯片上加做温敏电阻和加热电阻对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移进行补偿,并通过试验证明这种方法是非常有效的.
关键词
压阻式压力传感器
温度
特性
零位
温度
漂移
灵敏度温度漂移
下载PDF
职称材料
多晶硅高温压力传感器的温度特性
被引量:
1
3
作者
张为
姚素英
+3 位作者
张生才
曲宏伟
刘艳艳
张维新
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第1期142-145,共4页
讨论了改善多晶硅高温压力传感器温度特性的 3种措施 :用四甲基氢氧化铵溶液代替氢氧化钾溶液作硅杯各向异性腐蚀剂 ;优化多晶硅压敏电阻的掺杂浓度 ,实现传感器灵敏度温度漂移自补偿 ;在传感器芯片上加做温敏电阻 ,通过调节激励源的温...
讨论了改善多晶硅高温压力传感器温度特性的 3种措施 :用四甲基氢氧化铵溶液代替氢氧化钾溶液作硅杯各向异性腐蚀剂 ;优化多晶硅压敏电阻的掺杂浓度 ,实现传感器灵敏度温度漂移自补偿 ;在传感器芯片上加做温敏电阻 ,通过调节激励源的温度特性 ,进一步减小传感器灵敏度温度系数 .采用以上措施 ,使多晶硅压力传感器有良好的高温稳定性 ,灵敏度温度系数绝对值小于 2× 10 -4/℃ .
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关键词
多晶硅
压力传感器
温度
特性
灵敏度温度漂移
补偿
下载PDF
职称材料
压阻式冲击硅微机械加速度传感器的温度补偿
被引量:
2
4
作者
董健
《机电工程》
CAS
2008年第4期80-83,共4页
给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的温度补偿与实现方法。该方法采用串并联电阻来补偿加速度传感器的零位温度漂移,采用在电源后串联二极管来补偿加速度传感器的灵敏度温度漂移。具体实现时,采用高低温试验机对加速度传感器的...
给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的温度补偿与实现方法。该方法采用串并联电阻来补偿加速度传感器的零位温度漂移,采用在电源后串联二极管来补偿加速度传感器的灵敏度温度漂移。具体实现时,采用高低温试验机对加速度传感器的环境温度进行变化,通过检测系统测量出4个压敏电阻在高低温时的电阻值,运用软件计算出补偿电阻值、补偿电阻在桥路中的位置以及串联二极管的数量,并根据计算结果构建出了带温度补偿的传感器检测电路。测试结果表明,这一方法能有效补偿加速度传感器的温度漂移。
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关键词
串并联电阻
零位
温度
漂移
灵敏度温度漂移
温度
补偿
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职称材料
高温压电加速度传感器设计与仿真优化
5
作者
刘石豪
张振海
何光
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第5期775-779,共5页
高温压电加速度传感器被广泛应用于振动与冲击测试、故障诊断与监测方面。针对传统压电加速度传感器灵敏度温度漂移过大的问题,该文设计了一种高温压电加速度传感器,该加速度传感器采用正负温度系数的压电元件堆叠设计,以抵消温度变化...
高温压电加速度传感器被广泛应用于振动与冲击测试、故障诊断与监测方面。针对传统压电加速度传感器灵敏度温度漂移过大的问题,该文设计了一种高温压电加速度传感器,该加速度传感器采用正负温度系数的压电元件堆叠设计,以抵消温度变化的影响,进而降低温度漂移。5层YCOB压电元件和1层GdCOB压电元件堆叠构成压缩型压电加速度传感器。应用ANSYS对传感器的性能进行仿真优化,并对提出的降低灵敏度温度漂移的方法有效性进行了仿真验证。结果表明,在常温~800℃全温度范围内,该传感器的灵敏度温度漂移小于±3%,其具有高温稳定性好、测量精度高的优点。
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关键词
高温压电
加速度传感器
灵敏度温度漂移
正负
温度
系数
下载PDF
职称材料
题名
低温度敏感度谐振式压力传感器设计与仿真
1
作者
李光贤
黄晶
袁宇鹏
杨靖
李春洋
张祖伟
龙帅
机构
中电科芯片技术(集团)有限公司
国知创芯(重庆)科技有限公司
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第2期202-206,共5页
基金
国家重点研发计划项目“飞机PHM系统用传感器生产及批量测试平台”(2022YFB3206504)。
文摘
为降低材料杨氏模量温度漂移和热应力对谐振式压力传感器温度漂移的影响,该文设计了一种基于Si-SiO 2复合H形谐振梁和双谐振器结构的低温度敏感度谐振压力传感器。通过有限元仿真软件COMSOL对传感器进行仿真验证。结果表明,在0~350 kPa内传感器灵敏度可达21.146 Hz/kPa,-50~125℃内零点温度漂移低至0.2 Hz/℃。与全硅结构相比,灵敏度温度漂移由339×10^(-6)/℃降低至14.1×10^(-6)/℃,可适应工作温度范围较高的环境。
关键词
谐振式压力传感器
温度
漂移
温度
灵敏度
漂移
温度
补偿
Keywords
resonant pressure sensor
temperature drift
sensitivity temperature drift
temperature compensation
分类号
TN389 [电子电信—物理电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
压阻式压力传感器的温度特性研究
被引量:
5
2
作者
郭涛
熊继军
张文栋
机构
华北工学院电子科学与技术系
出处
《测试技术学报》
2004年第z1期229-231,共3页
文摘
本文针对压阻式压力传感器的温度特性,提出了对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移的补偿方法:在传感器芯片上加做温敏电阻和加热电阻对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移进行补偿,并通过试验证明这种方法是非常有效的.
关键词
压阻式压力传感器
温度
特性
零位
温度
漂移
灵敏度温度漂移
分类号
TB9-55 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
多晶硅高温压力传感器的温度特性
被引量:
1
3
作者
张为
姚素英
张生才
曲宏伟
刘艳艳
张维新
机构
天津大学电子信息工程学院
出处
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第1期142-145,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 (698760 2 7)
文摘
讨论了改善多晶硅高温压力传感器温度特性的 3种措施 :用四甲基氢氧化铵溶液代替氢氧化钾溶液作硅杯各向异性腐蚀剂 ;优化多晶硅压敏电阻的掺杂浓度 ,实现传感器灵敏度温度漂移自补偿 ;在传感器芯片上加做温敏电阻 ,通过调节激励源的温度特性 ,进一步减小传感器灵敏度温度系数 .采用以上措施 ,使多晶硅压力传感器有良好的高温稳定性 ,灵敏度温度系数绝对值小于 2× 10 -4/℃ .
关键词
多晶硅
压力传感器
温度
特性
灵敏度温度漂移
补偿
Keywords
polysilicon pressure sensor
temperature dependence
doping concentration
compensation of α TCS
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
压阻式冲击硅微机械加速度传感器的温度补偿
被引量:
2
4
作者
董健
机构
浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室
出处
《机电工程》
CAS
2008年第4期80-83,共4页
文摘
给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的温度补偿与实现方法。该方法采用串并联电阻来补偿加速度传感器的零位温度漂移,采用在电源后串联二极管来补偿加速度传感器的灵敏度温度漂移。具体实现时,采用高低温试验机对加速度传感器的环境温度进行变化,通过检测系统测量出4个压敏电阻在高低温时的电阻值,运用软件计算出补偿电阻值、补偿电阻在桥路中的位置以及串联二极管的数量,并根据计算结果构建出了带温度补偿的传感器检测电路。测试结果表明,这一方法能有效补偿加速度传感器的温度漂移。
关键词
串并联电阻
零位
温度
漂移
灵敏度温度漂移
温度
补偿
Keywords
series and parallel compensated resistance
zero position temperature drift
sensitivity temperature drift
temperature compensation
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
高温压电加速度传感器设计与仿真优化
5
作者
刘石豪
张振海
何光
机构
北京理工大学机电学院
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第5期775-779,共5页
基金
科工局国防技术基础项目(202020230028)
装备预先研究背景项目(ZW040202)。
文摘
高温压电加速度传感器被广泛应用于振动与冲击测试、故障诊断与监测方面。针对传统压电加速度传感器灵敏度温度漂移过大的问题,该文设计了一种高温压电加速度传感器,该加速度传感器采用正负温度系数的压电元件堆叠设计,以抵消温度变化的影响,进而降低温度漂移。5层YCOB压电元件和1层GdCOB压电元件堆叠构成压缩型压电加速度传感器。应用ANSYS对传感器的性能进行仿真优化,并对提出的降低灵敏度温度漂移的方法有效性进行了仿真验证。结果表明,在常温~800℃全温度范围内,该传感器的灵敏度温度漂移小于±3%,其具有高温稳定性好、测量精度高的优点。
关键词
高温压电
加速度传感器
灵敏度温度漂移
正负
温度
系数
Keywords
high temperature piezoelectric
accelerometer
sensitivity temperature drift
positive and negative temperature coefficient
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低温度敏感度谐振式压力传感器设计与仿真
李光贤
黄晶
袁宇鹏
杨靖
李春洋
张祖伟
龙帅
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
压阻式压力传感器的温度特性研究
郭涛
熊继军
张文栋
《测试技术学报》
2004
5
下载PDF
职称材料
3
多晶硅高温压力传感器的温度特性
张为
姚素英
张生才
曲宏伟
刘艳艳
张维新
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
1
下载PDF
职称材料
4
压阻式冲击硅微机械加速度传感器的温度补偿
董健
《机电工程》
CAS
2008
2
下载PDF
职称材料
5
高温压电加速度传感器设计与仿真优化
刘石豪
张振海
何光
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023
0
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职称材料
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