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灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制
被引量:
4
1
作者
李小换
张世名
+1 位作者
邹其利
郭志萍
《遥测遥控》
2007年第S1期153-157,共5页
溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5×10-4~2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻...
溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5×10-4~2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻,使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度,比在后续电路上进行温度补偿,温度响应快。对灵敏度温度自补偿压力敏感元件进行设计与研制。实测结果表明,采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件,灵敏度温度误差较小,可以控制在0.25×10-4/F.S℃以下,传感器的温度性能得到了提高。
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关键词
薄膜压力传感器
灵敏度
温度
自补偿
灵敏度温度误差
下载PDF
职称材料
FY-4A静止气象卫星红外高光谱大气探测仪GIIRS探测灵敏度分析
被引量:
3
2
作者
农川
尹球
+1 位作者
宋慈
束炯
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第3期353-362,共10页
灵敏度是重要的遥感器辐射性能指标。本文将红外高光谱大气探测仪仪器噪声灵敏度概念拓展,定义了面向探测仪在轨应用的大气参数灵敏度和地表温度误差灵敏度,给出了相应的计算模型和相互关系。并将之应用于第一台静止气象卫星红外高光谱...
灵敏度是重要的遥感器辐射性能指标。本文将红外高光谱大气探测仪仪器噪声灵敏度概念拓展,定义了面向探测仪在轨应用的大气参数灵敏度和地表温度误差灵敏度,给出了相应的计算模型和相互关系。并将之应用于第一台静止气象卫星红外高光谱大气探测仪FY-4A GIIRS在轨应用探测灵敏度评估。根据探测仪测试数据和大气历史统计资料,得到了大气参数(温度、水汽、臭氧、CO_(2)、CH_(4)和N_(2)O)、地表温度误差以及探测仪噪声灵敏度随通道的定量变化特征,分析了各变化特征的物理机制。结果表明大气温度、水汽和臭氧灵敏度远大于探测仪噪声和地表温度误差灵敏度,而CO_(2)、CH_(4)和N_(2)O灵敏度被探测仪和地表温度误差灵敏度淹没。本文研究为红外高光谱大气参数探测信噪比评估奠定了基础,有助于红外高光谱大气探测通道的优选。
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关键词
红外高光谱
大气探测
探测仪
灵敏度
大气参数
灵敏度
地表
温度
误差
灵敏度
下载PDF
职称材料
称重传感器电路补偿机理及补偿电阻计算
被引量:
5
3
作者
刘九卿
《衡器》
2014年第1期23-29,共7页
本文介绍了应变式称重传感器电路补偿与调整中的零点温度补偿、零点输出调整、线性补偿、灵敏度温度补偿机理及影响因素,以理论分析为依据,分别推算出零点温度补偿电阻Rt、零点输出调整电阻Rz、线性补偿电阻RL、灵敏度温度补偿电阻RMt...
本文介绍了应变式称重传感器电路补偿与调整中的零点温度补偿、零点输出调整、线性补偿、灵敏度温度补偿机理及影响因素,以理论分析为依据,分别推算出零点温度补偿电阻Rt、零点输出调整电阻Rz、线性补偿电阻RL、灵敏度温度补偿电阻RMt的理论与经验计算公式。并简要介绍了这几项电路补偿与调整工艺要点,分析了在生产实践中应用这些补偿电阻计算公式应注意的问题。
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关键词
称重传感器
弹性元件
电路补偿
零点
温度
漂移
灵敏度温度误差
补偿电阻
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职称材料
题名
灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制
被引量:
4
1
作者
李小换
张世名
邹其利
郭志萍
机构
北京遥测技术研究所
出处
《遥测遥控》
2007年第S1期153-157,共5页
文摘
溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5×10-4~2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻,使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度,比在后续电路上进行温度补偿,温度响应快。对灵敏度温度自补偿压力敏感元件进行设计与研制。实测结果表明,采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件,灵敏度温度误差较小,可以控制在0.25×10-4/F.S℃以下,传感器的温度性能得到了提高。
关键词
薄膜压力传感器
灵敏度
温度
自补偿
灵敏度温度误差
Keywords
Sputtering thin-film pressure sensor
Self-temperature-compensation
Sensitivity-temperature-error
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
FY-4A静止气象卫星红外高光谱大气探测仪GIIRS探测灵敏度分析
被引量:
3
2
作者
农川
尹球
宋慈
束炯
机构
华东师范大学地理信息科学教育部重点实验室
华东师范大学地理科学学院
上海市气象局
中原工学院理学院
上海大学通信与信息工程学院
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第3期353-362,共10页
基金
funded by the User Office of Meteorological Satellites of China Meteorological Administration
文摘
灵敏度是重要的遥感器辐射性能指标。本文将红外高光谱大气探测仪仪器噪声灵敏度概念拓展,定义了面向探测仪在轨应用的大气参数灵敏度和地表温度误差灵敏度,给出了相应的计算模型和相互关系。并将之应用于第一台静止气象卫星红外高光谱大气探测仪FY-4A GIIRS在轨应用探测灵敏度评估。根据探测仪测试数据和大气历史统计资料,得到了大气参数(温度、水汽、臭氧、CO_(2)、CH_(4)和N_(2)O)、地表温度误差以及探测仪噪声灵敏度随通道的定量变化特征,分析了各变化特征的物理机制。结果表明大气温度、水汽和臭氧灵敏度远大于探测仪噪声和地表温度误差灵敏度,而CO_(2)、CH_(4)和N_(2)O灵敏度被探测仪和地表温度误差灵敏度淹没。本文研究为红外高光谱大气参数探测信噪比评估奠定了基础,有助于红外高光谱大气探测通道的优选。
关键词
红外高光谱
大气探测
探测仪
灵敏度
大气参数
灵敏度
地表
温度
误差
灵敏度
Keywords
Infrared hyper-spectral
atmospheric sounding
sounder noise sensitivity
atmospheric parameter sensitivity
surface temperature error sensitivity
分类号
P4 [天文地球—大气科学及气象学]
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职称材料
题名
称重传感器电路补偿机理及补偿电阻计算
被引量:
5
3
作者
刘九卿
机构
中国运载火箭技术研究院第
出处
《衡器》
2014年第1期23-29,共7页
文摘
本文介绍了应变式称重传感器电路补偿与调整中的零点温度补偿、零点输出调整、线性补偿、灵敏度温度补偿机理及影响因素,以理论分析为依据,分别推算出零点温度补偿电阻Rt、零点输出调整电阻Rz、线性补偿电阻RL、灵敏度温度补偿电阻RMt的理论与经验计算公式。并简要介绍了这几项电路补偿与调整工艺要点,分析了在生产实践中应用这些补偿电阻计算公式应注意的问题。
关键词
称重传感器
弹性元件
电路补偿
零点
温度
漂移
灵敏度温度误差
补偿电阻
Keywords
weighing sensor
elastic element
circuit compensation
zero temperature drift
error compensation resistance
temperature sensitivity
分类号
TH715.1 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制
李小换
张世名
邹其利
郭志萍
《遥测遥控》
2007
4
下载PDF
职称材料
2
FY-4A静止气象卫星红外高光谱大气探测仪GIIRS探测灵敏度分析
农川
尹球
宋慈
束炯
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
3
下载PDF
职称材料
3
称重传感器电路补偿机理及补偿电阻计算
刘九卿
《衡器》
2014
5
下载PDF
职称材料
已选择
0
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