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压电陶瓷传感器的灵敏度温漂误差补偿研究 被引量:6
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作者 陈高华 闫献国 +1 位作者 郭宏 姚永超 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期397-403,共7页
针对微测系统中压电陶瓷传感器的灵敏度温漂会使其在变化的温度环境中工作时性能不稳定,进而影响检测精度问题,提出了一种基于改进Elman神经网络的压电陶瓷传感器灵敏度温漂误差补偿控制方法。分析了压电陶瓷传感器产生灵敏度温漂现象... 针对微测系统中压电陶瓷传感器的灵敏度温漂会使其在变化的温度环境中工作时性能不稳定,进而影响检测精度问题,提出了一种基于改进Elman神经网络的压电陶瓷传感器灵敏度温漂误差补偿控制方法。分析了压电陶瓷传感器产生灵敏度温漂现象的原因。以压电陶瓷切削力测量传感器为对象,在不同温度下对传感器的灵敏度进行了标定试验研究。研究结果表明,压电陶瓷传感器在同一温度下工作时具有良好的线性度,在温度变化的环境中工作会伴有灵敏度温漂现象。为了有效补偿灵敏度温漂附加误差,提高检测精度,建立了基于改进Elman神经网络的灵敏度温漂补偿模型,并对模型涉及的学习算法、激励函数、输入输出层节点以及承接层和隐含层节点数等相关内容进行了研究。对比试验验证结果表明,所建立的灵敏度温漂补偿模型对压电陶瓷传感器的灵敏度温漂误差补偿控制效果明显,未经灵敏度温漂补偿,直接按照常温下灵敏度标定结果预测的压电陶瓷传感器加载力和实际加载力之间误差较大,最大误差达到29.16 N,利用本文建立的基于改进Elman神经网路灵敏度温漂补偿模型补偿后,补偿模型的预测力和压电陶瓷传感器的实际加载力最大误差仅0.72 N,有效保证了检测精度。 展开更多
关键词 压电陶瓷传感器 灵敏度温漂 ELMAN神经网络 补偿模型 检测精度
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用自平衡电桥法补偿压力传感器灵敏度温漂 被引量:17
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作者 孙以材 孙新宇 +3 位作者 刘淑花 高振斌 常志红 杨瑞霞 《传感器世界》 1999年第3期36-41,共6页
本文就压力传感器的灵敏度温漂问题进行评述,分析了灵敏度产生的原因并提出利用自平衡电桥法解决灵敏度温漂的补偿方法。
关键词 压力传感器 灵敏度温漂 补偿技术 自平衡电桥
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压阻型压力传感器灵敏度温漂及其补偿技术 被引量:8
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作者 孙新宇 王鑫 +3 位作者 高振斌 孟庆浩 杨瑞霞 孙以材 《半导体杂志》 1998年第1期38-44,共7页
就压阻型压力传感器的灵敏度温漂问题进行述评,分析了灵敏度温漂产生的原因并提出解决灵敏度温漂的多种补偿方法。
关键词 压力传感器 灵敏度温漂 补偿技术
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基于温度补偿方法去敏的新型光纤光栅压力传感器 被引量:15
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作者 王俊杰 刘波 +1 位作者 张丰涛 张东生 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2342-2346,共5页
本文阐述了一种带温度补偿、基于平面薄板结构的新型光纤光栅压力传感器。作为弹性体的压力敏感薄板,其硬心通过一L型刚性位移传递机构拉动压力敏感FBG;温度去敏通过被动温度补偿和残留温度效应实时修正来解决。传感器性能指标测试如下... 本文阐述了一种带温度补偿、基于平面薄板结构的新型光纤光栅压力传感器。作为弹性体的压力敏感薄板,其硬心通过一L型刚性位移传递机构拉动压力敏感FBG;温度去敏通过被动温度补偿和残留温度效应实时修正来解决。传感器性能指标测试如下:重复性0.066%FS,回程误差0.846%FS,线性度0.102%FS,传感器精度±0.591%FS;在–30℃到+80℃范围内,传感器零点漂移为+1.7208%FS,灵敏度漂移为+0.0104%FS,传感器温漂为+1.7312%FS。 展开更多
关键词 光纤光栅 压力传感器 平面薄板结构 度补偿 传感器 零点 灵敏度温漂
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