多热源碳化硅合成炉热源参数与产率的关系研究

利用ANSYS软件对多热源炉温度场数值计算的模拟结果,系统地分析了热源数目、炉芯间距与产率之间的关系.研究发现,炉芯间距过大或过小,产率均有一定程度的下降。对于10 000 kVA的变电系统和炉长L×炉宽B×炉高H=20 m×5 m×5 m的炉子而言,热源数目为4,对应的炉芯尺寸为H=B=0.34 m,炉芯间距d=1.0 m时,产率最高。这一结果通过工业生产得到了验证。