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气凝胶填充式微热板的设计及性能测试
1
作者
何小霞
顾智琦
+3 位作者
苗斌
徐瞻
李淑娴
李加东
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第11期113-116,共4页
为改善封闭膜式MEMS硅基微热板的热耗散问题,设计并制备了加热区域为200μm×200μm气凝胶填充式微热板结构,气凝胶填充采用刮涂工艺实现。背腔中填充的二氧化硅(SiO_(2))气凝胶可减小封闭膜微热板背腔引起的热损失,同时提升加热区...
为改善封闭膜式MEMS硅基微热板的热耗散问题,设计并制备了加热区域为200μm×200μm气凝胶填充式微热板结构,气凝胶填充采用刮涂工艺实现。背腔中填充的二氧化硅(SiO_(2))气凝胶可减小封闭膜微热板背腔引起的热损失,同时提升加热区域的温度分布均匀性。测试结果表明:刮涂工艺可以满足圆片级微热板进行气凝胶填充;微热板工作温度越高,气凝胶填充式结构对封闭膜微热板的热损失问题改善效果越明显;工作电压为4 V时,升温到590℃,功耗为50.04 mW,加热效率提高了12%,热响应稳定性更好。在烟尘传感器上进行性能测试,测试结果表明:可满足烟尘传感器吸附区对烟尘颗粒氧化解吸的需求。
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关键词
微热板
气凝胶
隔热
烟尘传感器
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职称材料
基于ARM的工厂排污监控系统设计
2
作者
严正国
李凯
《现代计算机》
2019年第15期78-82,共5页
随着嵌入式技术的发展,越来越多的嵌入式设备应用于工业监控领域,介绍一种基于ARM内核的三星4412芯片为控制核心,分别设计数据采集节点与数据处理终端。该套系统可以远程实时监控工厂的排污情况,为环保部门治理环境污染提供强有力的保...
随着嵌入式技术的发展,越来越多的嵌入式设备应用于工业监控领域,介绍一种基于ARM内核的三星4412芯片为控制核心,分别设计数据采集节点与数据处理终端。该套系统可以远程实时监控工厂的排污情况,为环保部门治理环境污染提供强有力的保障。随着物联网技术的发展,这项设计很好地符合人们及时获取空气质量信息的需要,所以具有很好的发展前景。
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关键词
网络编程技术
三星4412最小系统
烟尘传感器
Framebuffer技术
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职称材料
基于51系列单片机的汽车空气净化系统设计
被引量:
3
3
作者
沈爱莲
《重庆工商大学学报(自然科学版)》
2012年第2期62-65,共4页
一种基于单片机AT89C51控制的汽车空气净化系统的设计,系统的信号检测装置是采用烟尘浓度传感器,给出了完整的硬件电路图和软件实施方案,具有一定的可行性且设计方案简单易懂等特点。
关键词
AT89C51单片机
烟尘
浓度
传感器
红外光
光敏器件
下载PDF
职称材料
XLP湿法除尘器计算机控制系统研究
4
作者
李书杰
李志刚
侯宝稳
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第z1期371-372,396,共3页
本文重点研究了湿法除尘器的控制方法 ,阐明了影响除尘效率的相关因素 ,提出了在烟尘温度波动、烟尘量变化的情况下保持除尘效果、节约用水的自组织微分先行 PID控制方法。
关键词
湿法除尘器
变频器
自组织
微分先行
极限理论
光纤
烟尘传感器
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职称材料
题名
气凝胶填充式微热板的设计及性能测试
1
作者
何小霞
顾智琦
苗斌
徐瞻
李淑娴
李加东
机构
大连大学机械工程学院
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所多功能材料与轻巧系统重点实验室
中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第11期113-116,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(62074159)。
文摘
为改善封闭膜式MEMS硅基微热板的热耗散问题,设计并制备了加热区域为200μm×200μm气凝胶填充式微热板结构,气凝胶填充采用刮涂工艺实现。背腔中填充的二氧化硅(SiO_(2))气凝胶可减小封闭膜微热板背腔引起的热损失,同时提升加热区域的温度分布均匀性。测试结果表明:刮涂工艺可以满足圆片级微热板进行气凝胶填充;微热板工作温度越高,气凝胶填充式结构对封闭膜微热板的热损失问题改善效果越明显;工作电压为4 V时,升温到590℃,功耗为50.04 mW,加热效率提高了12%,热响应稳定性更好。在烟尘传感器上进行性能测试,测试结果表明:可满足烟尘传感器吸附区对烟尘颗粒氧化解吸的需求。
关键词
微热板
气凝胶
隔热
烟尘传感器
Keywords
micro hotplate
aerogel
insulation
soot sensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于ARM的工厂排污监控系统设计
2
作者
严正国
李凯
机构
西安石油大学光电油气测井与检测国家教育部重点实验室
出处
《现代计算机》
2019年第15期78-82,共5页
文摘
随着嵌入式技术的发展,越来越多的嵌入式设备应用于工业监控领域,介绍一种基于ARM内核的三星4412芯片为控制核心,分别设计数据采集节点与数据处理终端。该套系统可以远程实时监控工厂的排污情况,为环保部门治理环境污染提供强有力的保障。随着物联网技术的发展,这项设计很好地符合人们及时获取空气质量信息的需要,所以具有很好的发展前景。
关键词
网络编程技术
三星4412最小系统
烟尘传感器
Framebuffer技术
Keywords
Network Communication
Samsung 4412
Dust Sensor
HTTP Protocol
分类号
TP277 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
X831 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
基于51系列单片机的汽车空气净化系统设计
被引量:
3
3
作者
沈爱莲
机构
浙江汽车职业技术学院汽车制造及自动化系
出处
《重庆工商大学学报(自然科学版)》
2012年第2期62-65,共4页
文摘
一种基于单片机AT89C51控制的汽车空气净化系统的设计,系统的信号检测装置是采用烟尘浓度传感器,给出了完整的硬件电路图和软件实施方案,具有一定的可行性且设计方案简单易懂等特点。
关键词
AT89C51单片机
烟尘
浓度
传感器
红外光
光敏器件
Keywords
single chip AT89C51
smoke concentration sensor
infrared light
photosensor
分类号
TP312 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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职称材料
题名
XLP湿法除尘器计算机控制系统研究
4
作者
李书杰
李志刚
侯宝稳
机构
河北理工学院自动化系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第z1期371-372,396,共3页
文摘
本文重点研究了湿法除尘器的控制方法 ,阐明了影响除尘效率的相关因素 ,提出了在烟尘温度波动、烟尘量变化的情况下保持除尘效果、节约用水的自组织微分先行 PID控制方法。
关键词
湿法除尘器
变频器
自组织
微分先行
极限理论
光纤
烟尘传感器
Keywords
Dampen approach dust catcher Converter Self makeup Differential first Limit theory Fiber smoke
分类号
TP27 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
气凝胶填充式微热板的设计及性能测试
何小霞
顾智琦
苗斌
徐瞻
李淑娴
李加东
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
基于ARM的工厂排污监控系统设计
严正国
李凯
《现代计算机》
2019
0
下载PDF
职称材料
3
基于51系列单片机的汽车空气净化系统设计
沈爱莲
《重庆工商大学学报(自然科学版)》
2012
3
下载PDF
职称材料
4
XLP湿法除尘器计算机控制系统研究
李书杰
李志刚
侯宝稳
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
0
下载PDF
职称材料
已选择
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