飞秒激光烧蚀光斑图像灰度特征及应用分析

飞秒激光在单晶硅材料表面进行微结构烧蚀过程中,微结构的烧蚀效率与烧蚀过程的工艺参数(烧蚀功率、烧蚀速度等)密切相关。研究、揭示光斑图像特征对光斑进行精确定位和跟踪显得至关重要。据此,对烧蚀过程中衍生的等离子体光斑图像的几何特征进行分析,首先,提取序列光斑图像,研究了光斑的形态特征和灰度的分布情况;其次,对光斑图像进行质心和中心提取,利用中心到质心的指向判断其烧蚀加工方向;最后,以此为基础,选取同一加工方向的光斑进行叠加,对光晕部分有效剔除,使光斑的灰度呈各向异性对称,即光斑灰度由中心到四周逐步均匀递减,其中心和质心基本重合。能有效提高对烧蚀光斑的定位和跟踪精度,对烧蚀速度的研究有着深远意义。