基于热电堆结构的微型热传导真空传感器

本文描述了一种与CMOS工艺完全兼容的热电堆微型热传导真空传感器。该传感器可在商业化的标准CMOS生产流水线上进行流片,配合后续的无掩模体硅各向异性腐蚀工艺,即可完成全部制造程序。器件敏感部分为124μm×100μm的多层复合薄膜架空结构,其上制作了n型多晶硅加热器、20对由p型多晶硅条和铝条构成的热电堆。利用加热器对复合薄膜加热,在不同的真空状态下,薄膜呈现不同温度,温度值由热电堆转换为温差电动势输出。本文在以下方面进行详细描述:1.器件的结构设计和制造工艺;2.器件的稳态和瞬态有限元分析;3.测试结果与理论分析的对照。结果表明,在加热器1.5V恒压驱动条件下,器件的气压敏感范围为0.1Pa^105Pa(空气),此时热电堆输出电压范围为26mV^50mV,最大响应时间预计为1.4ms。

非饱和土的吸力量测技术

有关非饱和土吸力量测技术的资料已有不少 ,但要准确地测量大范围的土吸力目前仍很困难。比较和讨论各种非饱和土吸力量测手段各自的优越性和不足点以及在工程中各自的应用领域。最后 ,还提出了关于更有效的吸力量测仪器的一些设想。

基于MC9S08GB60单片机的超微量气体流量计设计

根据差压原理运用MC9S08GB60单片机和传感器设计超微量气体流量计,详细阐述该流量计的工作原理、软、硬件设计过程,以及该流量计所具有的特点。

如何准确测量饮料中二氧化碳的含量

在当今竞争激烈的世界中,各家公司的首要目标之一是保证消费者能得到优质的产品,饮料业也不例外。消费者对啤酒或软饮料有所不满,其最普遍的原因是产品跑了气,即产品的二氧化碳含量有偏差。 一些啤酒和软饮料生产商利用仪器量度产品的“总压力及温度”,以了解饮料中CO_2(二氧化碳)的含量;然而这种计算方法并不可靠,因为这是基于饮料中只存在CO_2一种气体的假设,事实却并非如此。