超声喷雾法制备掺Zn和未掺Zn α-Fe2O3薄膜的研究

使用自制的超声雾化热裂解设备(UPS)成功地制备了掺Zn和未掺Zn的α-Fe2O3薄膜,并对其光电特性进行了较为系统的研究。XRD结果证实了所获得的薄膜为α-Fe2O3,AFM测试结果表明:薄膜致密,晶粒成沟壑状地生长,粒径在0.1μm到0.2μm之间。紫外-可见光谱实验发现Zn掺杂的α-Fe2O3薄膜吸收发生了"红移",带隙发生变化。XRD分析也证实Zn掺杂对Fe2O3的晶体结构有影响。Mott-Schottky测试的结果获得了UPS制备的n型α-Fe2O3薄膜的导带、价带电位,而Zn掺杂α-Fe2O3薄膜的导电类型由n-型转变为p-型,且它的价带、价带电位能够更适合氢和氧的析出。这说明了自制的UPS设备可以用于太阳光水解制氢半导体薄膜材料的制备。