材料表面微图案结构成型技术及其研究进展

表面微图案结构成型技术作为实现材料表面纹理化并促进材料先进化、功能化的一种手段已经广泛应用到实际生产制造中。根据材料应用领域的差异,表面微图案成型的主要方法包括热压花、化学蚀刻、电火花加工、光刻和3D打印。本文综述了不同表面微图案结构成型技术及制备表面纹理化功能材料的基本原理,并列举其在光伏、电子信息、智能制造、超精密制造等领域的实际应用。总结了不同表面微图案结构成型技术的特点及适用范围,提出了实现材料表面纹理化和功能化所面临的关键问题,为表面微图案结构的微加工技术提供了一定参考。

微透镜压模阵列一步制造法

介绍制造微透镜压模阵列的新方法，采用聚焦离子束蚀刻（FIBM）将压模阵列制作在一块Si片上，用激光干涉仪测量所制造压模的2－D轮廓和表面粗糙度，最后用压模阵列进行热压花模压，压模和复制件的表面粗糙度分别为2.5nm和8nm。表面粗糙度定义为距粗糙度轮廓中线绝对距离的算术平均值。复制件轮廓能满足实际应用。所测的复制件尺寸与所设计阵列的尺寸相当一致。