磁控溅射制备 VO_2 热致变色薄膜的研究

研究了用磁控溅射制备ＶＯ２热致变色薄膜。在不同的Ｏ２／Ａｒ＋Ｏ２流量比下，沉积了一系列ＶＯｘ薄膜，给出了沉积速率以及高温／低温下电阻率变化的规律。得到了组分比较纯的ＶＯ２热致变色薄膜。研究了薄膜的光透射谱和相变过程中电学性质的变化。