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题名一种用于薄膜热容测量的微热量计的设计与制作
被引量:1
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作者
宋青林
崔铮
夏善红
陈绍凤
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机构
中国科学院电子学研究所
英国卢瑟福实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期122-125,共4页
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基金
国家"973"计划项目 (G19990 3 3 10 2 )
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文摘
目前已发现并证实薄膜的热导率和热扩散率存在着尺寸效应。本文为了研究薄膜的另一个热学性质比热是否也具有尺寸效应 ,提出了一种用于薄膜热容测量的新方法 ,其相应的实验器件为一悬膜结构。从理论上阐述了其测量原理 ,结合ANSYS热学模拟设计并利用微机械加工技术制作出SiO2 悬膜结构 ,悬膜由两个悬臂支撑 ,在悬膜上制作了Pt薄膜电阻同时用于加热和测温。这种结构加快了样品、悬膜和加热 /测温电阻之间的热传递 ,减小了悬膜的热损失 ,提高了测量精度。
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关键词
薄膜材料
热容测量
微热量计
设计
比热
悬膜
尺寸效应
热学模拟
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Keywords
specific heat
floating membrane
size effect
stimulation
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分类号
TK122
[动力工程及工程热物理—工程热物理]
TH81
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名对选定尺寸的原子团簇进行热容测量
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作者
戴闻
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机构
中国科学院低温技术实验中心
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出处
《物理》
CAS
1999年第4期248-248,共1页
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文摘
大块纯物质在给定压力下具有确定的熔点和相变潜热.另一方面,粉末烧结制备材料的经验告诉我们,如果采用特别细的原始粉料,烧结温度就可以适当降低.在纳米技术飞速发展的今天,原子团簇熔化过程的研究不仅是受科学兴趣的驱动,而且具有技术价值.有关研究最近在德国弗...
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关键词
原子团簇
热容测量
尺寸选定
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分类号
O481
[理学—固体物理]
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题名热量表准确度的整体检定方法和误差分析
被引量:7
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作者
金志军
邱萍
王智超
狄洪发
江亿
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机构
中国计量科学研究院
清华大学
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出处
《现代测量与实验室管理》
2003年第2期10-13,共4页
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文摘
本文阐述了热量表准确度整体检定方法的原理和实施方案 ,在对多种运行工况进行测试的同时 。
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关键词
准确度
热量表
整体检定法
误差分析
漏热测量
热容测量
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分类号
TH811
[机械工程—精密仪器及机械]
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