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一种MEMS热微执行器的设计与制作
被引量:
4
1
作者
杨静
高建忠
+1 位作者
赵玉龙
蒋庄德
《微纳电子技术》
CAS
2005年第4期175-179,共5页
介绍了基于热膨胀效应的V型梁MEMS微执行器并联阵列结构,并对其进行结构设计、仿真和制作;为确定微执行器的结构参数同其位移和驱动力的关系,对V型悬臂梁进行了理论分析;为提高位移和驱动力,运用ANSYS对微执行器进行有限元分析,优化结...
介绍了基于热膨胀效应的V型梁MEMS微执行器并联阵列结构,并对其进行结构设计、仿真和制作;为确定微执行器的结构参数同其位移和驱动力的关系,对V型悬臂梁进行了理论分析;为提高位移和驱动力,运用ANSYS对微执行器进行有限元分析,优化结构参数;根据模拟结果,采用SOI硅片和微细加工DRIE技术制作了这种V型梁微执行器并联阵列。
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关键词
微
机电系统
热微执行器
阵列
有限元
下载PDF
职称材料
题名
一种MEMS热微执行器的设计与制作
被引量:
4
1
作者
杨静
高建忠
赵玉龙
蒋庄德
机构
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
2005年第4期175-179,共5页
文摘
介绍了基于热膨胀效应的V型梁MEMS微执行器并联阵列结构,并对其进行结构设计、仿真和制作;为确定微执行器的结构参数同其位移和驱动力的关系,对V型悬臂梁进行了理论分析;为提高位移和驱动力,运用ANSYS对微执行器进行有限元分析,优化结构参数;根据模拟结果,采用SOI硅片和微细加工DRIE技术制作了这种V型梁微执行器并联阵列。
关键词
微
机电系统
热微执行器
阵列
有限元
Keywords
MEMS
thermal micro-actuator
array
FEM
分类号
O551.3 [理学—热学与物质分子运动论]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种MEMS热微执行器的设计与制作
杨静
高建忠
赵玉龙
蒋庄德
《微纳电子技术》
CAS
2005
4
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