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用于壁面剪应力测量的柔性热敏传感器阵列
被引量:
7
1
作者
赵建国
马炳和
邓进军
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第7期414-418,共5页
阐述了壁面剪应力测量原理及其需求。以Ni为热敏材料、聚酰亚胺为衬底,采用MEMS微加工工艺制作了一种用于近壁传热及流动参数分布测量的全柔性热敏传感器阵列。该传感器阵列的尺寸微小、集成度高、柔性可弯,可用于弯曲壁面剪应力大小与...
阐述了壁面剪应力测量原理及其需求。以Ni为热敏材料、聚酰亚胺为衬底,采用MEMS微加工工艺制作了一种用于近壁传热及流动参数分布测量的全柔性热敏传感器阵列。该传感器阵列的尺寸微小、集成度高、柔性可弯,可用于弯曲壁面剪应力大小与分布测量。针对柔性热敏传感器阵列电阻温度系数太小的问题,本文采用了合适的Ar压强和在溅射过程中衬底加温以及真空退火等办法提高了电阻温度系数,同时考虑并解决了热敏电阻与衬底间的粘附性问题。实验结果表明,在5~80℃,柔性热敏传感器阵列的电阻温度系数可高达4.64×10-3/℃,并且具有良好的线性。
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关键词
热敏传感器阵列
柔性
聚酰亚胺
电阻温度系数
粘附性
镍
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职称材料
题名
用于壁面剪应力测量的柔性热敏传感器阵列
被引量:
7
1
作者
赵建国
马炳和
邓进军
机构
西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第7期414-418,共5页
基金
国家863计划资助项目(2007AA04Z347)
国家自然科学基金(50775188
90305017)
文摘
阐述了壁面剪应力测量原理及其需求。以Ni为热敏材料、聚酰亚胺为衬底,采用MEMS微加工工艺制作了一种用于近壁传热及流动参数分布测量的全柔性热敏传感器阵列。该传感器阵列的尺寸微小、集成度高、柔性可弯,可用于弯曲壁面剪应力大小与分布测量。针对柔性热敏传感器阵列电阻温度系数太小的问题,本文采用了合适的Ar压强和在溅射过程中衬底加温以及真空退火等办法提高了电阻温度系数,同时考虑并解决了热敏电阻与衬底间的粘附性问题。实验结果表明,在5~80℃,柔性热敏传感器阵列的电阻温度系数可高达4.64×10-3/℃,并且具有良好的线性。
关键词
热敏传感器阵列
柔性
聚酰亚胺
电阻温度系数
粘附性
镍
Keywords
thermal sensor array
flexible
polyimide
temperature coefficient of resistance
adhesion
nickel
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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被引量
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1
用于壁面剪应力测量的柔性热敏传感器阵列
赵建国
马炳和
邓进军
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009
7
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